ICP Etching Process အတွက် Semicorex ၏ Wafer Holder သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ပါးလွှာသော ဖလင်ထုတ်ယူခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို တောင်းဆိုရန်အတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်၊ အပူတူညီမှုပင်၊ နှင့် ကိုက်ညီပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသောရလဒ်များအတွက် အကောင်းဆုံးသော laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံများရှိသည်။
wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ပါးလွှာသော ဖလင်ထုတ်ယူခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တသမတ်တည်း စွမ်းဆောင်နိုင်စေရန် ICP Etching Process အတွက် Semicorex ၏ Wafer Holder ကို ရွေးချယ်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် အပူချိန်မြင့်သောဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှု၊ မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် အက်ဆစ်၊ အယ်လကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများအား ချေးခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ICP Etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ Wafer Holder သည် အပူပရိုဖိုင်၏ ညီညာမှုကို သေချာစေရန် အကောင်းဆုံး laminar gas စီးဆင်းမှုပုံစံကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချစ်ပ်ပေါ်တွင် အရည်အသွေးမြင့် epitaxial ကြီးထွားမှုကို သေချာစေရန် ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးရန် ကူညီပေးသည်။
ICP Etching Process အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ Wafer Holder အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
ICP Etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် Wafer Holder ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
ICP Etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် Wafer Holder ၏အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- မြင့်မားသော အပူချိန် ကလိုရင်းအခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။