သန့်ရှင်းရေးကန်

Semicorex သန့်ရှင်းရေးကန်အား အရည်အသွေးမြင့် quartz ဖြင့်ပြုလုပ်ထားပြီး၊ ပြိုင်ဘက်ကင်းသောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုကိုပေးစွမ်းပြီး semiconductor wafer များကို သေချာစွာသန့်စင်ပြီး ၎င်းတို့၏ဂုဏ်သိက္ခာကိုထိခိုက်စေနိုင်သည့် မည်သည့်ညစ်ညမ်းမှုများမှကင်းစင်ကြောင်း သေချာစေပါသည်။

၎င်း၏ထူးခြားသောဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့်အပူတည်ငြိမ်မှုကြောင့် Quartz ကိုသန့်ရှင်းရေးကန်ဆောက်လုပ်ရန်အတွက်ရွေးချယ်သည်။ Quartz သန့်ရှင်းရေးကန်သည် hydrofluoric acid နှင့် အခြားသော အားကောင်းသော etchants ကဲ့သို့သော သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးများသော ပြင်းထန်သောဓာတုပစ္စည်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ၎င်း၏အပူတည်ငြိမ်မှုသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် လိုအပ်လေ့ရှိသည့် မြင့်မားသောအပူချိန်များကို ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ပျက်စီးခြင်းမရှိဘဲ၊ ၎င်း၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာခိုင်မာမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ကြာရှည်စွာထိန်းသိမ်းထားနိုင်စေရန် သေချာစေသည်။

သန့်စင်ရေးကန်၏ ဒီဇိုင်းသည် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်ကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင် စေ့စပ်သေချာစွာ တီထွင်ထားသည်။ ၎င်း၏ ချောမွေ့ပြီး ချောမွေ့သော အတွင်းခန်းသည် အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လုပ်မှုကို လျော့နည်းစေပြီး ညစ်ညမ်းမှု စုဆောင်းခြင်းကို ကာကွယ်ပေးသည်။ သန့်စင်ရေးကန်အား ဓာတုဗေဒရေချိုးခန်းများ၊ ultrasonic သန့်ရှင်းရေးနှင့် megasonic သန့်ရှင်းရေးအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော သန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ နည်းလမ်းတစ်ခုစီတွင် ၎င်း၏ သီးခြားအားသာချက်များရှိပြီး သန့်ရှင်းရေးကန်၏ ဘက်စုံသုံးနိုင်မှုသည် ကနဦး wafer သန့်ရှင်းရေးမှ နောက်ဆုံးဆေးကြောခြင်းနှင့် အခြောက်ခံခြင်းအထိ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်၏ အဆင့်များစွာတွင် အသုံးပြုနိုင်သည်။

ဓာတုဗေဒရေချိုးခန်းများတွင်၊ သန့်ရှင်းရေးကန်သည် ဆပ်ပြာများကို သန့်ရှင်းရေးဖြေရှင်းချက်များနှင့် တစ်ပြေးညီ ထိတွေ့မိကြောင်း သေချာစေပြီး တစ်သမတ်တည်းနှင့် စေ့စေ့စပ်စပ် သန့်ရှင်းရေးကို မြှင့်တင်ပေးသည်။ တူညီသောထိတွေ့မှုသည် အမှုန်အမွှားများ၊ အော်ဂဲနစ်အကြွင်းအကျန်များနှင့် သတ္တုညစ်ညမ်းမှုများကို wafer မျက်နှာပြင်မှ ဖယ်ရှားရာတွင် အရေးကြီးပါသည်။ ultrasonic နှင့် megasonic သန့်ရှင်းရေးတွင်၊ ကြိမ်နှုန်းမြင့် အသံလှိုင်းများသည် သန့်ရှင်းရေးဖြေရှင်းချက်တွင် microscopic cavitation ပူဖောင်းများကို ဖန်တီးပေးသည်။ ဤပူဖောင်းများ ပြိုကျသောအခါ၊ ၎င်းတို့သည် wafer မျက်နှာပြင်မှ ညစ်ညမ်းမှုများကို ဖယ်ရှားပြီး ဖယ်ရှားပေးသည့် အားကောင်းသော လှိုင်းလုံးများကို ထုတ်ပေးပါသည်။ သန့်ရှင်းရေးကန်၏ ခိုင်ခံ့သော quartz တည်ဆောက်မှုသည် ဤသန့်ရှင်းရေးနည်းလမ်းများဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားသော ပြင်းထန်သောအခြေအနေများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ရေရှည်တည်တံ့မှုနှင့် ထိရောက်မှုကို သေချာစေသည်။