TaC Coated Tube

Semicorex TaC Coated Tube ၏ စွမ်းအားသည် အခြေခံပစ္စည်းနှင့် အထူးပြုထားသော အပေါ်ယံပိုင်း၏ ပေါင်းစပ်ပေါင်းစပ်မှုတွင် တည်ရှိသည်။

High-Purity Isotropic Graphite Foundation-TaC Coated Tube ၏ အူတိုင်ကို အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော isotropic ဂရပ်ဖိုက်မှ ဖွဲ့စည်းထားကာ၊ ၎င်း၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးမှု၊ အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု နည်းပါးခြင်းနှင့် အပူဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း တို့ကြောင့် ကျော်ကြားသည်။ ဤဖောင်ဒေးရှင်းသည် လျင်မြန်သော အပူချိန်အတက်အကျများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၏ မြင့်မားသောအပူဝန်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ကြံ့ခိုင်ပြီး တည်ငြိမ်သော ပလပ်ဖောင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။

တန်တလမ်ကာဗိုက်---တာရှည်ခံမှုနှင့် မသန်မာမှု၏ ဒိုင်းတစ်ခုCVD-အသုံးပြုထားသော TaC အပေါ်ယံပိုင်းသည် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာကို ပြောင်းလဲစေပြီး ထူးခြားသော မာကျောမှု၊ ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်နှင့် ဓာတုဗေဒ ပြတ်တောက်မှုတို့ကို ထုတ်ပေးသည်။ ဤအကာအကွယ်အလွှာသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်စဉ်အတွင်း တွေ့ကြုံရသည့် ပြင်းထန်သောဓာတ်ငွေ့များ၊ ပလာစမာများနှင့် ဓာတ်ပြုသောမျိုးစိတ်များကို အတားအဆီးအဖြစ် လုပ်ဆောင်ကာ ပြွန်၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ခိုင်မာမှုနှင့် အသက်ရှည်မှုကို အာမခံသည်။

ဤထူးခြားသောပစ္စည်းပေါင်းစပ်မှုသည် အဆင့်မြင့် semiconductor ထုတ်လုပ်မှုအတွက် အရေးကြီးသော အကျိုးကျေးဇူးများစွာကို ဘာသာပြန်သည်-

အနှိုင်းမဲ့ အပူချိန် ခံနိုင်ရည်-TaC သည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) ကိုပင် ကျော်လွန်၍ လူသိများသော ပစ္စည်းအားလုံး၏ အရည်ပျော်ကျသည့် အမြင့်မားဆုံးထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤလွန်ကဲသောအပူချိန်ခံနိုင်ရည်ရှိသော TaC Coated Tube သည် အပူချိန် 2500°C ထက်ကျော်လွန်ရန်လိုအပ်သော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ယုံကြည်စိတ်ချစွာလည်ပတ်နိုင်စေပြီး မျိုးဆက်သစ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများကို အပူပိုင်းဘတ်ဂျက်များတောင်းဆိုကာ မျိုးဆက်သစ်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများထုတ်လုပ်နိုင်စေပါသည်။

အရေးပါသော လုပ်ငန်းစဉ်ထိန်းချုပ်မှုအတွက် အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု-တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ရိုးစင်းသောဖြစ်စဉ်ပတ်ဝန်းကျင်ကို ထိန်းသိမ်းခြင်းသည် အရေးကြီးဆုံးဖြစ်သည်။ သန့်ရှင်းမှုမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်များနှင့် စေ့စပ်သေချာသော CVD အပေါ်ယံအလွှာကို အသုံးပြုခြင်းသည် TaC Coated Tube မှ အမှုန်အမွှားများထွက်ခြင်း သို့မဟုတ် အမှုန်အမွှားထုတ်လုပ်ခြင်းကို သေချာစေပြီး ထိခိုက်လွယ်သော wafer မျက်နှာပြင်များနှင့် စက်ပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်စေနိုင်သည့် ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးပါသည်။

မယိမ်းယိုင်သော ဓာတုခုခံမှု-TaC Coated Tube ၏ ဓာတုဓာတ်မငြိမ်မသက်မှုသည် etching, deposition, and annealing ကဲ့သို့သော semiconductor လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အသုံးများသော ကျယ်ပြန့်သော အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များ၊ ဓာတ်ပြုအိုင်းယွန်းများနှင့် ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်များကို ထူးခြားစွာ ခုခံပေးပါသည်။ ဤခိုင်ခံ့သောဓာတုတည်ငြိမ်မှုသည် သက်တမ်းတိုးသော tube သက်တမ်း၊ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုလိုအပ်ချက်များကို လျှော့ချပေးပြီး အလုံးစုံပိုင်ဆိုင်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို သက်သာစေသည်။

တိုးချဲ့ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းအတွက် ပိုမိုကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြာရှည်ခံမှု-TaC အပေါ်ယံပိုင်းနှင့် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာကြား ခိုင်ခံ့သော နှောင်ကြိုးသည် TaC Coated Tube ၏ မွေးရာပါ မာကျောမှုနှင့် အတူ ဝတ်ဆင်မှု၊ တိုက်စားမှုနှင့် စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ဖိစီးမှုကို ထူးခြားစွာ ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ကြာရှည်ခံမှုသည် ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို ပိုရှည်စေပြီး အစားထိုးရန်အတွက် စက်ရပ်ချိန်ကို လျှော့ချပေးကာ လုပ်ငန်းစဉ်ထိရောက်မှုနှင့် ဖြတ်သန်းမှုကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပါသည်။