MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများအတွက် Semicorex ၏ Susceptors များသည် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာများနှင့် epitaxy semiconductor ကဲ့သို့သော အပလီကေးရှင်းအမျိုးမျိုးအတွက် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးစက်လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုသည့် အရည်အသွေးမြင့်ထုတ်ကုန်များဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်ကို ဂီယာ သို့မဟုတ် လက်စွပ်ပုံသဏ္ဍာန်ဖြင့်ရရှိနိုင်ပြီး အပူချိန် 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ တည်ငြိမ်စေရန် အပူချိန်မြင့်မားသော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။
MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ Susceptors များကို အပူချိန်မြင့်မားသော ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့များ စွန့်ပစ်ခြင်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုကို အာမခံပါသည်။ ထုတ်ကုန်၏ မျက်နှာပြင်သည် သိပ်သည်းပြီး သေးငယ်သော အမှုန်အမွှားများနှင့် မာကျောမှု မြင့်မားသောကြောင့် ၎င်းသည် အက်ဆစ်၊ အယ်လကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများကို ချေးခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများအတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ Susceptors များသည် မျက်နှာပြင်အားလုံးတွင် အပေါ်ယံအကာများ ပေါက်ထွက်ခြင်းမှ ကင်းဝေးစေရန်နှင့် အကောင်းဆုံး laminar gas စီးဆင်းမှုပုံစံကို ရရှိစေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ ထုတ်ကုန်သည် အပူပရိုဖိုင်၏ ညီညာမှုကို အာမခံပြီး လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့မှုကို တားဆီးကာ အရည်အသွေးမြင့် ရလဒ်များကို အာမခံပါသည်။
Semicorex တွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် သုံးစွဲသူများ၏ စိတ်ကျေနပ်မှုကို ဦးစားပေးပြီး ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ဖြေရှင်းနည်းများကို ပေးဆောင်ပါသည်။ အရည်အသွေးမြင့် ထုတ်ကုန်များနှင့် ထူးခြားသော ဖောက်သည်ဝန်ဆောင်မှုကို ပေးဆောင်ခြင်းဖြင့် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် ကျွန်ုပ်တို့ မျှော်လင့်ပါသည်။
MOCVD ဓာတ်ပေါင်းဖိုများအတွက် Susceptors ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
MOCVD အတွက် SiC Coated Graphite Susceptor ၏ အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု- မြင့်မားသောအပူချိန် ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့်ပြုလုပ်သည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။