Silicon Curved Electrodes

ခေတ်မီသော ထွင်းထုသည့်ကိရိယာများအတွင်း၊ ဆီလီကွန်အကွေးလျှပ်ကူးပစ္စည်းကို များသောအားဖြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer ဆီသို့ မျက်နှာမူကာ etching chamber ၏ထိပ်တွင် တပ်ဆင်ထားသည်။ ဆီလီကွန်ကွေးလျှပ်ကူးပစ္စည်းသည် ပုံမှန်အားဖြင့် electrostatic chuck၊ Si focus ring၊ Si edge ring၊ Si exhaust ring နှင့် Si shielding ring နှင့် Si shielding ring တို့နှင့် တွဲဖက်လုပ်ဆောင်ပြီး တိကျမှုမြင့်မားသော လည်ပတ်မှုအခြေအနေများကို ပေးစွမ်းပါသည်။

Semicorex ဆီလီကွန်ကွေးလျှပ်များ၏လုပ်ဆောင်ချက်များ

1. ရှုပ်ထွေးသော 3D ဖွဲ့စည်းပုံ etching နှင့် လိုက်ဖက်သည်။

ထူးခြားသော 3D လျှပ်စစ်စက်ကွင်းထိန်းချုပ်နိုင်မှုနှင့်အတူ Semicorexဆီလီကွန်ကွေးလျှပ်ရှုပ်ထွေးသောဖွဲ့စည်းပုံများ၏ ဂျီဩမေတြီသွင်ပြင်လက္ခဏာများကို စုံလင်စွာ ကိုက်ညီနိုင်သည်။ အထူးအကွေးဒီဇိုင်းသည် တိကျသောပလာစမာထိန်းချုပ်မှုနှင့် ပိုမိုကောင်းမွန်အောင်ပြုလုပ်ထားသော စွမ်းအင်ဖြန့်ဖြူးမှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ၎င်းသည် 3D ဖွဲ့စည်းပုံကို ထွင်းဖောက်ခြင်း၏ ရှုထောင့်အချိုးနှင့် ဘေးနံရံဒေါင်လိုက်ကို သိသိသာသာအကျိုးသက်ရောက်စေပြီး အဆင့်မြင့်ထုပ်ပိုးမှုလုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် 3D IC ပေါင်းစပ်မှု၏ ထုတ်လုပ်မှုလိုင်းလိုအပ်ချက်များနှင့် ပြည့်မီပါသည်။

2. Etch Gas ဖြန့်ဖြူးမှုကို တိကျစွာ ထိန်းချုပ်ခြင်း။

Semicorex ဆီလီကွန်အကွေးလျှပ်ကူးပစ္စည်းများသည် etching chamber သို့ etching chamber သို့ဝင်ရောက်ရန်အတွက် etching chamber အတွင်းသို့ တူညီစွာဖြန့်ဝေပေးသည့် micro-holes အများအပြားကို ၎င်းတို့၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် တူညီစွာဖြန့်ဝေပေးပါသည်။ Semicorex ဆီလီကွန် ကွေးကောက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းများသည် etching gas တွင် တိကျသော ထိန်းချုပ်မှုကို ရရှိနိုင်ပြီး ၎င်းအား etching chamber တွင် တူညီစွာ ဖြန့်ဝေနိုင်စေခြင်းဖြင့် တူညီသောမဟုတ်သော ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော လုပ်ငန်းစဉ်ကွဲလွဲမှုများကို လျော့နည်းစေသည်။

Semicorex ဆီလီကွန်ကွေးလျှပ်များ၏အားသာချက်များ

1. အလွန်မြင့်မားသောသန့်စင်မှု

Semicorex ဆီလီကွန် ကွေးလျှပ်လျှပ်များသည် အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော တစ်ခုတည်းသော သလင်းကျောက်ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။ဆီလီကွန်99.9999999% အထက်ရှိသော သန့်စင်မှုအဆင့်ဖြင့် ပလာစမာတိုက်စားမှုအား သာလွန်ကောင်းမွန်သော ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ဤအဆင့်မြင့်သော ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုသည် ဆီလီကွန်ကွေးလျှပ်လျှပ်များ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို သိသိသာသာ တိုးစေပြီး ထွင်းထုခြင်းမှ ထွက်ပေါ်လာသော မလိုလားအပ်သော ညစ်ညမ်းမှုများကို ထိရောက်စွာ ရှောင်ရှားနိုင်သည်။

2. အထူးကောင်းမွန်သောလျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများ

MCZ တစ်ခုတည်းသော သလင်းပြင်ဆီလီကွန်မှ ထုတ်လုပ်ထားသည့် Semicorex ဆီလီကွန် ကွေးလျှပ်လျှပ်များသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ခုခံနိုင်မှု တူညီမှု- ＜5% နှင့် ရွေးချယ်နိုင်သော ကျယ်ပြန့်သော ခံနိုင်ရည်အကွာအဝေး- res နိမ့်သည်။ (<0.02), အလယ်တန်း res. (၁-၄) နှင့် မြင့်မားသော res. (၇၀-၉၀)။

3. Precision processing တိကျမှု

တိကျသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ လုပ်ဆောင်မှုအားဖြင့်၊ Semicorex silicon ကွေးလျှပ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းများသည် တစ်သမတ်တည်းရှိသော ချွေးပေါက်အရွယ်အစားနှင့် တူညီသော အပေါက်များ ဖြန့်ဖြူးမှုကို ရရှိစေသည်။ ၎င်းတို့၏ မျက်နှာပြင်များကို ချောမွတ်ပြီး မြေသားဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်- ပွတ်ထားသော (Ra < 0.1 μm) နှင့် မြေ (Ra < 1.6 μm) ၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ တိကျမှု 0.03 မီလီမီတာအတွင်း ထိန်းချုပ်ထားသည်။