Semicorex Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုကို ပေးစွမ်းနိုင်သော အရည်အသွေးမြင့် သယ်ဆောင်မှုကို ရှာဖွေနေသည့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးထုတ်လုပ်သူများအတွက် အဆုံးစွန်သော ရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏အဆင့်မြင့်ပစ္စည်းသည် အရည်အသွေးမြင့် wafers များကိုပေးဆောင်သည့်အပူပရိုဖိုင်နှင့် laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုပင်သေချာစေသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor သည် အလွန်သန့်စင်ပြီး အပူချိန်မြင့်မားသော ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ထွက်မှုဖြင့် ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် ထုတ်ကုန်၏ တူညီမှုနှင့် ညီညွတ်မှုကို အာမခံပါသည်။ အက်ဆစ်၊ အယ်လကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် သေးငယ်သော အမှုန်အမွှားများဖြင့် သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်မြင့်မားသည်။ ၎င်း၏အပူချိန်မြင့်မားသောဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုခုခံမှု 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိမြင့်မားသောအပူချိန်တွင်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေသည်။
ကျွန်ုပ်တို့၏ Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။
Silicon Carbide Graphite Substrate MOCVD Susceptor ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းမှု |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
MOCVD အတွက် SiC Coated Graphite Susceptor ၏ အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု- မြင့်မားသောအပူချိန် ကလိုရင်းဓာတ်အခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့်ပြုလုပ်သည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းခြင်း သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။