Silicon Carbide Focus Rings များ

ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အာရုံခံကွင်းelectrostatic chuck ၏ wafer ပံ့ပိုးမှုမျက်နှာပြင်တစ်ဝိုက်တွင် etching equipment ၏တုံ့ပြန်မှုအခန်းထဲတွင် တပ်ဆင်လေ့ရှိသည်။ ဤတပ်ဆင်မှုအစီအစဉ်သည် wafer edge နှင့် electrode အကြား အမြင့်ခြားနားချက်ကို အောင်မြင်စွာဖြည့်စွမ်းနိုင်ပြီး wafer edge ၏ etching ပြဿနာကို ရှောင်ရှားရန် wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပလာစမာကို တုံ့ပြန်မှုခန်းရှိ ပလာစမာကို အာရုံစိုက်ပြီး wafer edge မှ အပြင်သို့ ပလာစမာများ ပျံ့နှံ့မှုကိုလည်း ကာကွယ်ပေးပါသည်။

အရည်အသွေးမြင့် etching အစိတ်အပိုင်းများသည် etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တည်ငြိမ်သော လျှပ်စစ်စက်ကွင်းပတ်ဝန်းကျင်ကို ပေးစွမ်းနိုင်သည်။ Semicorex ၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင် အာရုံစူးစိုက်ကွင်းများကို စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားစွာဖြင့် ထုတ်လုပ်ထားသည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းများဓာတုအခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်းမှတဆင့်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ focus rings များသည် wafer တစ်ဝိုက်ရှိ လျှပ်စစ်စက်ကွင်းဖြန့်ကျက်မှုကို ချိန်ညှိပေးနိုင်ပြီး မညီညာသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းများကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသော etching deviations သို့မဟုတ် discharge phenomena များကို သိသိသာသာလျှော့ချပေးနိုင်သည်။

Semiconductor wafers များသည် အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုကို အလွယ်တကူ ခံရနိုင်သောကြောင့် Plasma etching လုပ်ငန်းစဉ်များကို အလွန်သန့်ရှင်းသော အိုင်းယွန်း etching တုံ့ပြန်မှု အခန်းများတွင် လုပ်ဆောင်ရပါမည်။ ထွင်းထုခြင်းကိရိယာ၏ အဓိကအစိတ်အပိုင်းအနေဖြင့်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အာရုံစူးစိုက်ကွင်းများသည် လက်တွေ့လုပ်ဆောင်မှုတွင် wafer edge နှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့ပြီး အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုစံနှုန်းများနှင့်ကိုက်ညီရန် လိုအပ်ပါသည်။ Semicorex ၏ ဆီလီကွန်ကာဘိုင် အာရုံစူးစိုက်ကွင်းများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ etching လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တင်းကြပ်သော သန့်ရှင်းမှုလိုအပ်ချက်များကို အတိအကျ ဖြည့်ဆည်းပေးနိုင်သည့် မြင့်မားသော သန့်စင်မှုနှင့် အညစ်အကြေးနည်းခြင်း၏ အားသာချက်များကို ပေးဆောင်ပါသည်။ ၎င်းသည် wafer ချို့ယွင်းချက်များကို လျှော့ချရန်နှင့် wafer ထုတ်လုပ်မှု အထွက်နှုန်းကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

Plasma etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း၊ ဖလိုရင်းနှင့် အောက်ဆီဂျင်ကဲ့သို့သော etching gases များကို ဓါတ်ပြုခန်းထဲသို့ ထည့်သွင်းပေးပါသည်။ etching equipment ၏ chemical corrosion resistance သည် process gases ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ရေရှည်ချေးစားခြင်းကြောင့် ပြင်းထန်စွာ စိန်ခေါ်ပါသည်။ ပလာစမာချေးကို ၎င်း၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ခံနိုင်ရည်စွမ်းသတ္တိဖြင့်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သည် focus ring ထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် အကောင်းဆုံးသောပစ္စည်းရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ သံချေးတက်ခြင်းဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းများ ပျက်စီးနိုင်ခြေကို လျှော့ချပြီး မကြာခဏ အစားထိုးခြင်းနှင့် ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု လိုအပ်မှုကို လျှော့ချခြင်းဖြင့်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက် အာရုံစူးစိုက်ကွင်းများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafer ထုတ်လုပ်မှု၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို သိသိသာသာ တိုးမြင့်လာစေနိုင်သည်။