SiC coating သည် chemical vapor deposition (CVD) လုပ်ငန်းစဉ်အားဖြင့် susceptor ပေါ်သို့ ပါးလွှာသောအလွှာဖြစ်သည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းသည် ပြိုကွဲနေသောလျှပ်စစ်စက်ကွင်းအား 10 ဆ၊ အပူချိန်နှင့် ဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိသောပစ္စည်းကိုပေးဆောင်သည့် တီးဝိုင်းကွာဟမှု 3x အပါအဝင်၊ ဆီလီကွန်ထက် အားသာချက်များစွာကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
Semicorex သည် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်၊ ပိုမိုကြာရှည်ခံသော အစိတ်အပိုင်းများဖြင့် ဆန်းသစ်တီထွင်နိုင်စေရန်၊ လည်ပတ်ချိန်များကို လျှော့ချပေးပြီး အထွက်နှုန်းများ တိုးတက်စေပါသည်။
SiC coating တွင် ထူးခြားသော အားသာချက်များစွာရှိသည်။
မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု- CVD SiC coated susceptor သည် သိသာထင်ရှားသောအပူရှိန်ပြိုကွဲခြင်းမရှိဘဲ မြင့်မားသောအပူချိန် 1600°C အထိခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
ဓာတုခံနိုင်ရည်- ဆီလီကွန်ကာဗိုက်အလွှာသည် အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များအပါအဝင် ဓာတုပစ္စည်းအမျိုးမျိုးကို ကောင်းစွာခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
Wear Resistance- SiC coating သည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် ပြင်းထန်စွာ စုတ်ပြဲခြင်းနှင့် မျက်ရည်ယိုခြင်း ပါ၀င်သည့် အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
Thermal Conductivity- CVD SiC coating သည် ပစ္စည်းအား မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းကို ပေးစွမ်းပြီး ထိရောက်သော အပူလွှဲပြောင်းမှု လိုအပ်သော အပူချိန်မြင့်သော application များတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်ပါသည်။
မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် မာကျောမှု- ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဖြင့် ဖုံးအုပ်ထားသော susceptor သည် မြင့်မားသော ခိုင်ခံ့မှုနှင့် မာကျောမှုရှိသော ပစ္စည်းကို ပံ့ပိုးပေးသောကြောင့် ၎င်းသည် မြင့်မားသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားလိုအပ်သော အသုံးချမှုများအတွက် သင့်လျော်စေသည်။
SiC coating ကို အမျိုးမျိုးသော application များတွင် အသုံးပြုသည်။
LED ထုတ်လုပ်မှု- CVD SiC coated susceptor ကို အပြာရောင်နှင့် အစိမ်းရောင် LED၊ UV LED နှင့် deep-UV LED အပါအဝင် LED အမျိုးအစားအမျိုးမျိုး၏ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်း၏ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုနှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ဖြစ်သည်။
မိုဘိုင်းဆက်သွယ်ရေး- CVD SiC coated susceptor သည် GaN-on-SiC epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်ကို အပြီးသတ်ရန် HEMT ၏ အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။
Semiconductor Processing- CVD SiC coated susceptor ကို wafer processing နှင့် epitaxial growth အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော applications များအတွက် semiconductor လုပ်ငန်းတွင် အသုံးပြုပါသည်။
SiC coated graphite အစိတ်အပိုင်းများ
Silicon Carbide Coating (SiC) graphite ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် coating ကို CVD method ဖြင့် high density graphite grades များတွင် အသုံးပြုထားသောကြောင့် အပူချိန် 3000°C အထက်ရှိသော မီးဖိုထဲတွင် လည်ပတ်နိုင်ပြီး လေဟာနယ်တွင် 2200°C ရှိပါသည် .
ပစ္စည်း၏ အထူးဂုဏ်သတ္တိများနှင့် သေးငယ်သောထုထည်သည် လျင်မြန်သော အပူနှုန်းများ၊ တူညီသော အပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုနှင့် ထိန်းချုပ်မှုတွင် ထူးခြားသောတိကျမှုကို ခွင့်ပြုပေးပါသည်။
Semicorex SiC Coating ၏ ပစ္စည်းဒေတာ
ရိုးရိုးဂုဏ်သတ္တိ |
ယူနစ် |
တန်ဖိုးများ |
ဖွဲ့စည်းပုံ |
|
FCC β အဆင့် |
တိမ်းညွှတ်မှု |
အပိုင်း (%) |
111 နှစ်ခြိုက်သည်။ |
အစုလိုက်သိပ်သည်းမှု |
g/cm³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
အပူစွမ်းရည် |
J kg-1 K-1 |
640 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်မှု 100–600°C (212–1112°F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt ကွေး၊ 1300 ℃) |
430 |
စပါးအရွယ်အစား |
µm |
၂~၁၀ |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
နိဂုံး CVD SiC coated susceptor သည် susceptor နှင့် silicon carbide တို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ ပေါင်းစပ်ထားသော ပေါင်းစပ်ပစ္စည်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် မြင့်မားသော အပူချိန်နှင့် ဓာတုဗေဒ ခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှု ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှု၊ နှင့် မြင့်မားသော ကြံ့ခိုင်မှုနှင့် တောင့်တင်းမှု အပါအဝင် ထူးခြားသော ဂုဏ်သတ္တိများ ပါဝင်သည်။ ဤဂုဏ်သတ္တိများသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်း၊ ဓာတုပြုပြင်ခြင်း၊ အပူကုသခြင်း၊ ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ခြင်းနှင့် LED ထုတ်လုပ်ခြင်းအပါအဝင် အမျိုးမျိုးသော အပူချိန်မြင့်မားသောအသုံးချပရိုဂရမ်များအတွက် ဆွဲဆောင်မှုရှိသောပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
Semicorex ၏ ICP etching wafer ကိုင်ဆောင်ခြင်းသည် epitaxy နှင့် MOCVD ကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်သော wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ပြီးပြည့်စုံသောဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။ တည်ငြိမ်ပြီး အပူချိန် 1600 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ရှိသော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသောကြောင့် ကျွန်ုပ်တို့၏ ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများသည် အပူပရိုဖိုင်းများ၊ laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံများကိုပင် သေချာစေပြီး ညစ်ညမ်းခြင်း သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex ၏ ICP Etching Carrier Plate သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ပါးလွှာသော ဖလင်ထုတ်ယူခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို တောင်းဆိုရန်အတွက် အကောင်းဆုံးဖြေရှင်းချက်ဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူနှင့် သံချေးတက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အပူတူညီမှု နှင့် laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံများကိုပင် ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ သန့်ရှင်းပြီး ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်ဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ ကယ်ရီယာသည် သန့်ရှင်းသော wafer များကို ကိုင်တွယ်ရန်အတွက် ပြီးပြည့်စုံပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။ICP Etching Process အတွက် Semicorex ၏ Wafer Holder သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ပါးလွှာသော ဖလင်ထုတ်ယူခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို တောင်းဆိုရန်အတွက် ပြီးပြည့်စုံသော ရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်၊ အပူတူညီမှုပင်၊ နှင့် တသမတ်တည်းယုံကြည်စိတ်ချရသောရလဒ်များအတွက် အကောင်းဆုံးသော laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံများရှိသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex ၏ ICP Silicon Carbon Coated Graphite သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ပါးလွှာသော ဖလင်စုဆောင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များကို တောင်းဆိုရန်အတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်၊ အပူတူညီမှုပင်၊ နှင့် အကောင်းဆုံးသော laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံများရှိသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။အရည်အသွေးမြင့် epitaxy နှင့် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် PSS လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် Semicorex ၏ ICP Plasma Etching System ကိုရွေးချယ်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်ကို ပေးစွမ်းသည့် ဤလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးပြုလုပ်ထားပါသည်။ သန့်ရှင်းပြီး ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်ဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ ကယ်ရီယာသည် သန့်ရှင်းသော wafer များကို ကိုင်တွယ်ရန်အတွက် ပြီးပြည့်စုံပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။Semicorex ၏ ICP Plasma Etching Plate သည် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့် ပါးလွှာသော ဖလင်စုဆောင်းခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူနှင့်ချေးခံနိုင်ရည်ကို ပေးစွမ်းသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုသန့်စင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ကြာရှည်ခံကြောင်းအာမခံပါသည်။ သန့်ရှင်းပြီး ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်ဖြင့်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏ ကယ်ရီယာသည် သန့်ရှင်းသော wafer များကို ကိုင်တွယ်ရန်အတွက် ပြီးပြည့်စုံပါသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါစုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။