Semicorex Quartz Support Ring သည် single-wafer epitaxial processing စနစ်များတွင် 12-လက်မ wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းအတွက် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော တိကျသောအင်ဂျင်နီယာဆိုင်ရာ အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ Semicorex သည် ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ သုံးစွဲသူများအတွက် တိကျသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းအဆင့် quartz ထုတ်ကုန်များကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။*
Semicorex 12-inch Quartz Support Ring သည် epitaxial ဓာတ်ပေါင်းဖိုများအတွင်းရှိ lift shaft ယန္တရားနှင့် ချောမွေ့စွာအလုပ်လုပ်ရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ လည်ပတ်နေစဉ်အတွင်း lift shaft ဆင်းလာသည်နှင့်အမျှ ring ပေါ်ရှိ ဗျူဟာမြောက်နေရာချထားသော support tabs သုံးခုသည် lift pins နှင့် ချိတ်ဆက်ပါသည်။ ဤတဲဘ်များသည် ဓာတ်လှေကားတံများကို ထိထိရောက်ရောက် ကိုင်ထားပြီး လမ်းညွှန်ပေးကာ ၎င်းတို့ကို ဆပ်စပ်တာမျက်နှာပြင်မှ ဝေဖာကို မြင့်တက်စေပြီး ညင်သာစွာ မြှင့်တင်နိုင်စေပါသည်။ ဤထိန်းချုပ်ထားသော ရုတ်သိမ်းခြင်းလုပ်ဆောင်ချက်သည် စက်ရုပ်လက်တံဖြင့် ဘေးကင်းပြီး ထိရောက်သောလွှဲပြောင်းမှုအတွက် wafer ကို ပြင်ဆင်ပေးကာ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ထိခိုက်မှု သို့မဟုတ် မှားယွင်းမှုဖြစ်နိုင်ခြေကို နည်းပါးစေပါသည်။
Quartz Support Ring တွင် 12-လက်မ wafer အတိုင်းအတာများနှင့် ကိုက်ညီစေရန် ဂရုတစိုက် ပြုပြင်ထားသော စက်ဝိုင်းပုံသဏ္ဍာန် ပါရှိပါသည်။ ပံ့ပိုးမှုတက်ဘ်သုံးခုကို ဓာတ်လှေကားတံများနှင့် တိကျစွာ အပြန်အလှန်တုံ့ပြန်ရန် စက်ယန္တရားများကို တိကျစွာနေရာချထားပြီး ထပ်ခါတလဲလဲ သံသရာတစ်လျှောက် တသမတ်တည်း ရုတ်သိမ်းသည့်စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းသည်။ ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်ကို အလှဆင်ခြင်းသည် အမှုန်အမွှားများ ထုတ်လုပ်မှုကို လျော့နည်းစေပြီး သန့်ရှင်းမှုကို မြှင့်တင်ပေးကာ စက်ပစ္စည်း၏ အထွက်နှုန်းကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။
အဓိကအင်္ဂါရပ်များနှင့် အကျိုးကျေးဇူးများ
High Purity Quartz ပစ္စည်း: ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို လျှော့ချပေးပြီး အလွန်သန့်ရှင်းသော စီမံဆောင်ရွက်ပေးသည့် ပတ်ဝန်းကျင်များကို ပံ့ပိုးပေးသည်။
အပူတည်ငြိမ်မှု- အပူချိန်မြင့်သော epitaxial အခြေအနေများအောက်တွင် တည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ သမာဓိကို ထိန်းသိမ်းသည်။
တိကျမှန်ကန်စွာ ချိန်ညှိခြင်း- ယုံကြည်စိတ်ချရသော စက်ရုပ်ကိုင်တွယ်မှုအတွက် wafers များကို တိကျသောနေရာချထားမှုကို သေချာစေသည်။
Optimized Support Tab Design- ထိန်းချုပ်ထားသော wafer lifting အတွက် lift shaft နှင့် pins များဖြင့် ချောမွေ့စွာ ညှိနှိုင်းမှုကို ဖွင့်ပေးသည်။
Low Particle Generation- ပွတ်ထားသော မျက်နှာပြင်များသည် အမှုန်အမွှားများကြွေကျခြင်းကို လျှော့ချနိုင်ပြီး wafer အရည်အသွေးကို ကာကွယ်ပေးသည်။
တာရှည်ခံမှုနှင့် တာရှည်ခံမှု- အပူရှော့ခ်နှင့် ဓာတုဓာတ်ချေးများကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးစေသည်။
လျှောက်လွှာဇာတ်လမ်း
single-wafer epitaxy စနစ်များတွင်၊ တိကျသော wafer ကိုင်တွယ်မှုသည် လုပ်ငန်းစဉ် ညီညွတ်မှုနှင့် အထွက်နှုန်းကို ထိန်းသိမ်းရန် အရေးကြီးပါသည်။ Quartz Support Ring သည် wafer လွှဲပြောင်းစဉ်အတွင်း အသွင်ကူးပြောင်းရေးဆိုင်ရာ ပံ့ပိုးမှုဖွဲ့စည်းပုံအဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။ lift shaft နိမ့်သောအခါ၊ support tabs များသည် lift pin များကို အနေအထားတွင် ထိန်းထားပြီး ၎င်းတို့အား process မျက်နှာပြင်မှ wafer ကို မြှင့်တင်နိုင်စေပါသည်။ ယင်းက စက်ရုပ်လက်တံသည် အနှောင့်အယှက်မရှိဘဲ wafer ကို ဝင်ရောက် ထုတ်ယူနိုင်ပြီး၊ အလိုအလျောက်စနစ်၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးပြီး ကိုင်တွယ်မှုဆိုင်ရာ အမှားအယွင်းများကို လျှော့ချနိုင်စေပါသည်။
အရည်အသွေးနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှု
Quartz Support Ring တစ်ခုစီကို တင်းကျပ်သော အရည်အသွေးထိန်းချုပ်မှုစံချိန်စံညွှန်းများအောက်တွင် ထုတ်လုပ်ထားပြီး အတိုင်းအတာတိကျမှုနှင့် ပစ္စည်းသန့်ရှင်းမှုကို သေချာစေသည်။ ခေတ်မီ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေး စက်ရုံများ၏ တင်းကြပ်သော လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီကြောင်း အဆင့်မြင့် စက်နှင့် စစ်ဆေးခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များက အာမခံပါသည်။
အဘယ်ကြောင့် Semicorex ကိုရွေးချယ်သနည်း။
Semicorex သည် နက်ရှိုင်းသောစက်မှုလုပ်ငန်းကျွမ်းကျင်မှုကို အဆင့်မြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်မှုစွမ်းရည်များနှင့် ပေါင်းစပ်ပြီး စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားသည်။Quartz အစိတ်အပိုင်းများsemiconductor applications များအတွက်အံဝင်ခွင်ကျ။ အရည်အသွေး၊ ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် ဖောက်သည်-သတ်သတ်မှတ်မှတ်ဖြေရှင်းချက်များအပေါ် ခိုင်မာသောအာရုံစိုက်မှုဖြင့်၊ Semicorex သည် Quartz Support Ring တိုင်းသည် ပိုမိုကောင်းမွန်သော လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုနှင့် ထုတ်လုပ်မှုထိရောက်မှုတို့ကို ပံ့ပိုးပေးကြောင်း သေချာစေသည်။
နိဂုံး
Semicorex 12-inch Quartz Support Ring သည် epitaxial လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် တိကျသော wafer ကိုင်တွယ်မှုအတွက် အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ၊ တိကျသောဒီဇိုင်းနှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော စွမ်းဆောင်ရည်များသည် အထွက်နှုန်းမြင့်မားခြင်း၊ ညစ်ညမ်းမှုနည်းခြင်းနှင့် ထိရောက်သော အလိုအလျောက်စနစ်ကို ရှာဖွေလိုသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးထုတ်လုပ်သူများအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော ဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်စေသည်။