Semicorex alumina chuck သည် Semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင်ယူနီဖောင်းစုပ်ယူမှုနှင့်လုံခြုံသောအဝတ်လျှော်မှုကိုကိုင်တွယ်ရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသော MicroPorous Black Alumina Vacaum ကရိယာဖြစ်သည်။ Semicorex ကိုရွေးချယ်ခြင်းဆိုသည်မှာယုံကြည်စိတ်ချရသောကြွေအင်ဂျင်နီယာပညာအင်ဂျင်နီယာများ,
semicorex alumina chucks သည်နူးညံ့သိမ်မွေ့သောအရာများအတွက်ရည်ရွယ်ချက်ဖြင့်တည်ဆောက်ထားသည်။ သူတို့၏ဒီဇိုင်းသည် Chuck Surface တွင်တသမတ်တည်းလေဟာနယ်ဖြန့်ဖြူးခြင်းများကိုဖော်ပြထားသည်။ စက်မှုညှပ်ခြင်း (အစိုင်အခဲသို့မဟုတ်အခြား) သည် microporous councher နှင့်လုံးဝမထိန်းချုပ်နိုင်ပါကစက်ပိုင်းဆိုင်ရာစိတ်ဖိစီးမှုကိုတားဆီးထားသည့်အပြင်နူးညံ့သိမ်မွေ့သောကွန်ယက်များကိုပင်လုံခြုံစွာပြုလုပ်နေစဉ်ကန့်သတ်ချက်ကိုလုံခြုံစွာတပ်ဆင်ထားသည်။ Chuck Surface တစ်ခုလုံးကိုဖြတ်ပြီးယူနီဖောင်းအသုံးအဆောင်များလိုအပ်ခြင်းသည်အထူးသဖြင့်ပိုမိုကြီးမားသော pulnision prescries န်းကျင်နှင့်မြင့်မားသော precision studle stepings ကိုကွပ်မျက်ခံရနိုင်သည့်အရာများစွာကိုသည်းခံနိုင်သည်။
35-40% အဘို့အ optimized, Chuck သည်ဆက်သွယ်မှုအချင်းချင်းကွန်ယက်တစ်ခုဖြစ်ပွားသည်။ ဆိုလိုသည်မှာရှုပ်ထွေးသောဖြစ်စဉ်တစ်ခုလုပ်ဆောင်နေစဉ်ကရေဖုန်မှုန့်များကိုလျင်မြန်စွာဆက်တိုက်ရွေ့လျားနေစဉ်လေဟာနယ်ကိုင်ဆောင်နိုင်မှုသည်တည်ငြိမ်နေဆဲဖြစ်သည်။ မိုက်ကံ့စွန်ပုန်ကွန်ယက်တစ်ခုအတွင်းရှိစုပ်ယူမှုသည်လေဟာနယ်စနစ်အတွင်းရှိဖိအားများအနေဖြင့်ကွဲပြားမှုများကိုဖန်တီးပေးခြင်းထက်ပိုမိုတည်ငြိမ်စေသည်။
အနက်ရောင်အယ်လ်နာတီ (Al₂o₃), သူ့ဟာသူသည်အဆုံးစွန်သောပစ္စည်းဖြစ်သည်, ၎င်းသည်မည်သည့်တန်ဖိုးရှိရှိမျက်နှာပြင်ကိုမဆိုလျော့နည်းစေပြီး wafer ၏ထပ်ခါတလဲလဲသံသရာ (နေရာချထားခြင်း / vacuum adsorption / cooling) မှတစ်ဆင့်ထိခိုက်မှုမရှိပါ။ အနက်ရောင်လူမဲဘ်ပင်ဖြစ်စဉ် (အပူနှင့်အအေးခြင်း) သို့မဟုတ်ပတ် 0 န်းကျင်တွင်သဘာဝတွင်ဖြစ်ပေါ်နေသောအပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများရှိသော်လည်းအပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများရှိသော်လည်းပြောင်းလဲလိမ့်မည်မဟုတ်ပါ။
ဓာတုခုခံမှုသည်အနက်ရောင် Alumina ၏အဓိကသော့ချက်ဖြစ်သည်။ Chuck သည်၎င်း၏ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာသမာဓိကိုမထိခိုက်စေဘဲရန်လိုသောသန့်ရှင်းရေး, ပလာစမာနှင့်စွဲသင်းမှုများတွင်လည်ပတ်နိုင်သည်။ ၎င်း၏ inertness သည်သန့်ရှင်းရေးဆွဲခြင်းနှင့်သန့်ရှင်းရေးစံနှုန်းများကိုသန့်ရှင်းရေးဆွဲခြင်းနှင့်ပိုမိုကောင်းမွန်သောစင်မြင့်ဆိုင်ရာစံနှုန်းများကိုသန့်ရှင်းရေးလုပ်ခြင်းနှင့်လိုက်နာခြင်းတို့ကိုတားဆီးနိုင်သည်။
MicroPorous ဖွဲ့စည်းပုံသည်ပါးလွှာပြီးပျက်စီးလွယ်သောပြက်ရယ်ပြုခြင်းအပေါ်စိတ်ဖိစီးမှုအာရုံစူးစိုက်မှုကိုသက်သာစေသည့်အထောက်အကူပြုမျက်နှာပြင်ကိုလည်းပေးသည်။ Tandem တွင်တိကျသောမျက်နှာပြင်အပြားနှင့်ချောမွေ့သောမျက်နှာပြင်အပြီးတွင်အယ်လ်နာနာ Chuck သည်ပြ cause နာများနှင့်ခြစ်ရာများဖြစ်ပွားခြင်းနှင့်ခြစ်ရာများအပေါ်များများစားစားဖြစ်လိမ့်မည်။
Alumina ကြွေထည်ပိုမိုမြင့်မားသောစက်ဆုပ်ရွံရှာမှု, မြင့်မားသောစက်ပိုင်းဆိုင်ရာခွန်အား, မြင့်မားသောချဲ့ထွင်မှုနိမ့်ကျမှုနည်းပါးခြင်း, ထို့အပြင်၎င်း၏ဓာတုပြတ်တောက်မှုဆိုသည်မှာအက်စစ်များသည်အက်စစ်များ, အယ်လ်ကာစ်နှင့်ပလာစမာများကိုခံနိုင်ရည်ရှိသည်။
နိဂုံးချုပ်အနေဖြင့်, alumina chucks သည်ယူနီဖောင်းနှင့် 0 မ်းမြောက်စွာကိုင်တွယ်ရန်ဒီဇိုင်းပြုလုပ်ထားသည်။ ၎င်း၏မိုက်ခရိုကြံ့ခိုင်အနက်ရောင်အယ်လ်နာနယ်ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံသည်ကျယ်ပြန့်သောပျက်စီးဆုံးရှုံးမှုကိုလျော့နည်းစေပြီးပိုမိုစက်ပိုင်းဆိုင်ရာစိတ်ဖိစီးမှုလျှော့ချခြင်းနှင့်လျှော့ချရေးကိုလျှော့ချခြင်းများကိုကမ်းလှမ်းသည်။ ထူးချွန်သောအပူ, စက်မှုနှင့်ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာဂုဏ်သတ္တိများဖြင့်အတူတကွပေါင်းစပ်ထားသောသိသိသာသာနှင့်အကောင်းမြင် porosity သည်ကြမ်းတမ်းသောလုပ်ကြံသည့်အခြေအနေများတွင် wafer ဘေးကင်းလုံခြုံမှု, တန်ဖိုးနှင့်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုများကိုပိုမိုကောင်းမွန်စေသည်။ အလွန်ကောင်းမွန်သော, ယူနီဖောင်းနှင့်လုံခြုံသောကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့်လုံခြုံစိတ်ချရသောကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့်လုံခြုံစိတ်ချရသောကိုင်တွယ်ခြင်းနှင့်လုံခြုံစိတ်ချရသောကိုင်တွယ်သူများကိုထုတ်လုပ်သူများကထုတ်လုပ်သူများကိုရှားပါးပြီးထူးခြားသည်။