PECVD ဆိုလာဖိုက်တင်လှေ

SemicorexPECVD ဆိုလာဖိုက်တာ စက်လှေမြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုမှတိကျစွာပြုလုပ်ထားသည်။isostatic ဂရပ်ဖိုက်. Semicorex မှ PECVD နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်သုံး ဂရပ်ဖိုက်လှေတစ်စင်းစီသည် အပူချိန်မြင့်မားသော ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်တွင် တည်ငြိမ်သောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိစေရန်အတွက် တိကျသောစက်မှုလုပ်ငန်း၊ အတိုင်းအတာစစ်ဆေးခြင်းနှင့် လျှပ်စစ်စွမ်းဆောင်မှုစမ်းသပ်ခြင်းတို့ကို ခံယူသည်။

PECVD လုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း၊ PECVD ဆိုလာဂရပ်ဖိုက်လှေသည် ဆီလီကွန်ဝေဖာများကို PECVD တုံ့ပြန်မှုခန်းထဲသို့ သယ်ဆောင်ပြီး RF ပါဝါထောက်ပံ့မှုနှင့် ချိတ်ဆက်ထားသော လျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။ ကပ်လျက်လှေပြားများကြားတွင် အစားထိုးဗို့အားကို သက်ရောက်သောအခါ၊ လျှပ်စစ်စက်ကွင်းကို တည်ထောင်သည်။ လျှပ်စစ်စက်ကွင်း၏ လွှမ်းမိုးမှုအောက်တွင်၊ ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များ (ဥပမာ silane SiH₄ နှင့် အမိုးနီးယား NH₃) သည် တောက်ပသော စွန့်ထုတ်မှုနှင့် ပလာစမာကို ထုတ်ပေးသည်။ ပလာစမာရှိ အိုင်းယွန်းများနှင့် ဖရီးရယ်ဒီကယ်များသည် ဆီလီကွန် (Si) နှင့် နိုက်ထရိုဂျင် (N) အိုင်းယွန်းများ ဖြစ်ပေါ်စေပြီး ရှေ့ပြေးဓာတ်ငွေ့များကို ပြိုကွဲစေသည်။ ဤအိုင်းယွန်းများသည် ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ် (Si₃N₄) မော်လီကျူးများအဖြစ် ပေါင်းစပ်ကာ ဆီလီကွန်ဝေဖာ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် ပါးလွှာသော ဖလင်များအဖြစ် ထားရှိကြသည်။

1. ထူးခြားသောအပူတည်ငြိမ်မှု

ဆီလီကွန် wafers များ နှင့် နီးစပ်သော အပူချဲ့ကိန်း ၊ SemicorxPECVD ဆိုလာဖိုက်တာလှေwafers များတွင် အပူဒဏ်ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော အပူဒဏ်ကြောင့် ပျက်စီးမှုကို စိတ်ချယုံကြည်စွာ ရှောင်ရှားနိုင်သည့် အပူပေးချိန်၌ သေးငယ်သော အတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုကို ကြုံတွေ့ရသည်။

2. သာလွန်သော လျှပ်စစ်နှင့် အပူစီးကူးမှု

Semicorex PECVD နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်သုံး ဂရပ်ဖိုက်လှေများသည် အလွန်ကောင်းမွန်သောလျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်စွမ်းရှိပြီး တည်ငြိမ်သောပလာစမာမျိုးဆက်နှင့် ယူနီဖောင်းဆီလီကွန်ဝေဖာများ စုဆောင်းမှုအတွက် အကျိုးပြုသည့် RF လျှပ်စီးကြောင်းနှင့် တစ်ပြေးညီလျှပ်စစ်စက်ကွင်းဖြန့်ဖြူးမှုကို လျင်မြန်စွာလုပ်ဆောင်နိုင်စေပါသည်။ ထို့အပြင် ၎င်း၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းသည် လျင်မြန်သော အအေးခံခြင်းနှင့် အပူပေးခြင်းတို့ကို လွယ်ကူချောမွေ့စေပြီး ထုတ်လုပ်မှု၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို မြှင့်တင်ပေးကာ သိုလှောင်မှုအရည်အသွေးကို ထိခိုက်ခြင်းမှ ကာကွယ်နိုင်မည်ဖြစ်သည်။

3. ပြင်းထန်သောဓာတုတည်ငြိမ်မှု

ပရီမီယံအဆင့်ပစ္စည်းကိုအသုံးပြုခြင်းကြောင့်၊ Semicorex PECVD ဆိုလာဂရပ်ဖိုက်သင်္ဘောသည် ဓာတ်ပြုဓာတ်ငွေ့များနှင့် ပလာစမာတို့ကို တုံ့ပြန်မှုနည်းပါသည်။ ဤဝိသေသလက္ခဏာသည် ဂရပ်ဖိုက်လှေအတွင်း ချေးယူခြင်း၊ ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ စုပုံခြင်းကြောင့် ဖြစ်ရသည့် မညီညာသော လျှပ်စစ်စက်ကွင်း ဖြန့်ဖြူးမှုကို သိသာထင်ရှားစွာ တားဆီးပေးသောကြောင့် အစစ်ခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ တည်ငြိမ်မှုနှင့် ဆီလီကွန်ဝေဖာများ၏ မျက်နှာပြင်အရည်အသွေးကို အာမခံပါသည်။

4. ထူးချွန်စက်ပိုင်းဆိုင်ရာခွန်အား

၎င်း၏ထူးခြားသောစက်မှုစွမ်းအားဖြင့်၊ Semicorex PECVD ဆိုလာဂရပ်ဖိုက်လှေသည် ထုထည်မြင့်မားသော wafer loads များ၏အလေးချိန်ကို ကောင်းစွာကိုင်တွယ်နိုင်သည်။ သယ်ဆောင်ခြင်းနှင့် သယ်ယူရာတွင် အလွယ်တကူ ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် ကွဲအက်ခြင်းမရှိဘဲ အချိန်ကြာမြင့်စွာ ထုတ်ပေးသော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာဖိအားကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

5. Excellent က Dimension ရှေ့နောက်ညီညွတ်မှု

Semicorex PECVD နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်သုံး ဂရပ်ဖိုက်လှေသည် တိကျသောစက်ဖြင့် အစိတ်အပိုင်းအားလုံးတွင် ထူးခြားသောအတိုင်းအတာတိကျမှုကို ရရှိသည်။ ဆီလီကွန် wafer သည် အစစ်ခံစဉ်အတွင်း ပုံသေအနေအထားတွင် ထားရှိပြီး တူညီသော အစစ်ခံမှုနှင့် အလိုအလျောက် ထုတ်လုပ်မှုနှင့် လိုက်ဖက်မှုရှိစေရန် သေချာစေသည်။