ICP Plasma Etching စနစ်

ICP Plasma Etching System အတွက် Semicorex ၏ SiC Coated carrier သည် epitaxy နှင့် MOCVD ကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်သော wafer ကိုင်တွယ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသည့် ဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ဝန်ဆောင်မှုပေးသူများသည် သာလွန်ကောင်းမွန်သောအပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ အပူတူညီမှုနှင့် တာရှည်ခံဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်တို့ကို ပေးစွမ်းနိုင်သော ကောင်းမွန်သော SiC crystal coating ပါရှိသည်။

စုံစမ်းမေးမြန်းရန်ပေးပို့ပါ။

ကုန်ပစ္စည်းအကြောင်းအရာ

ICP Plasma Etching System အတွက် Semicorex ၏ SiC Coated carrier ဖြင့် အရည်အသွေးအမြင့်မားဆုံး epitaxy နှင့် MOCVD လုပ်ငန်းစဉ်များကို ရယူလိုက်ပါ။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်သည် သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်ကို ပေးစွမ်းသည့် ဤလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် အထူးပြုလုပ်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ကောင်းမွန်သော SiC crystal coating သည် wafers များကို အကောင်းဆုံးကိုင်တွယ်နိုင်စေခြင်းဖြင့် သန့်ရှင်းချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
ICP Plasma Etching System အတွက် ကျွန်ုပ်တို့၏ SiC Coated carrier အကြောင်း ပိုမိုလေ့လာရန် ယနေ့ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ပါ။

ICP Plasma Etching System အတွက် SiC Coated carrier ၏ ကန့်သတ်ချက်များ

CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ	FCC Î² အဆင့်
သိပ်သည်းဆ	g/cm ³	3.21
မာကျောခြင်း။	Vickers မာကျောမှု	2500
စပါးအရွယ်အစား	Î¼m	၂~၁၀
ဓာတုသန့်စင်မှု	%	99.99995
Heat Capacity ၊	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimation အပူချိန်	℃	2700
Felexural Strength	MPa (RT 4 မှတ်)	415
Young’s Modulus	Gpa (4pt bend, 1300â¹۔)	430
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E)	10-6K-1	4.5
အပူစီးကူးမှု	(W/mK)	300