PFA နှင့် PTFE ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော Semicorex Cassette လက်ကိုင်များသည် semiconductor processing တွင် wafer ကက်ဆက်များ၏ ဘေးကင်းပြီး ထိရောက်သောလှုပ်ရှားမှုကို သေချာစေသည်။ ပိုမိုကောင်းမွန်သော ဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတည်ငြိမ်မှုကို ပေးစွမ်းနိုင်သော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်၊ တာရှည်ခံလက်ကိုင်များအတွက် Semicorex ကို ရွေးချယ်ပါ၊ အကောင်းဆုံးသော wafer အကာအကွယ်နှင့် ကုန်ထုတ်လုပ်မှု ထိရောက်မှုတို့ကို အာမခံပါသည်။*
Semicorex Cassette လက်ကိုင်များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးကြီးသောဆက်စပ်ပစ္စည်းများဖြစ်ပြီး wafer လုပ်ငန်းစဉ်အဆင့်ဆင့်အတွင်း wafer ကက်ဆက်များကို ဘေးကင်းပြီး ထိရောက်စွာ ကိုင်တွယ်နိုင်စေပါသည်။ PFA (Perfluoroalkoxy alkane) နှင့် PTFE (Polytetrafluoroethylene) ကဲ့သို့သော အရည်အသွေးမြင့်ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည့် အဆိုပါ Cassette လက်ကိုင်များသည် အလွန်သန့်ရှင်းမှု၊ ဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့် အပူပိုင်းတည်ငြိမ်မှုတို့ လိုအပ်သည့် ပတ်ဝန်းကျင်တွင် ဘေးကင်းရေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေရန်အတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းဖန်တီးမှုတွင်၊ etching, deposition, cleaning, and thermal treatments အပါအဝင် အမျိုးမျိုးသောအဆင့်များမှတဆင့် wafer များကို ကိုင်ဆောင်ထားရန် အသုံးပြုပါသည်။ ကက်ဆက်လက်ကိုင်များသည် နည်းပညာရှင်များနှင့် လုပ်ငန်းစဉ်များကြားတွင် ဤကက်ဆက်များကို လုံခြုံစွာ ဆုပ်ကိုင်ကာ ပို့ဆောင်ရန်အတွက် ပင်မအင်တာဖေ့စ်အဖြစ် ဆောင်ရွက်ပါသည်။ ကက်ဆက်များကို လူကိုယ်တိုင် သို့မဟုတ် စက်ရုပ်စနစ်များမှတစ်ဆင့် ရွှေ့သည်ဖြစ်စေ ဤလက်ကိုင်များသည် အခန်းများ၊ မီးဖိုများ၊ သို့မဟုတ် ဓာတုဗေဒရေချိုးခန်းများအတွင်းသို့ လုံခြုံစွာနှစ်မြှုပ်နိုင်စေကာ အရေးကြီးသောအကူးအပြောင်းကာလအတွင်း ဝေဖာများကို ပျက်စီးခြင်း သို့မဟုတ် ညစ်ညမ်းခြင်းမှ မထိတွေ့မိကြောင်း သေချာစေပါသည်။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ပြုပြင်ခြင်းတွင် နူးညံ့သိမ်မွေ့သော wafer များနှင့် ပြင်းထန်သော ဓာတုပစ္စည်းများ ပါဝင်လေ့ရှိသောကြောင့်၊ ကက်ဆက်လက်ကိုင်များ၏ အရည်အသွေးနှင့် ဒီဇိုင်းသည် ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းအသွားအလာတစ်ခုလုံး၏ ခိုင်မာမှုကို ထိန်းသိမ်းရာတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။
ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ- PFA နှင့် PTFE
ကက်ဆက်လက်ကိုင်များအတွက် ပစ္စည်းရွေးချယ်မှုသည် အလွန်ဆိုးရွားသောအခြေအနေများတွင် ၎င်းတို့၏စွမ်းဆောင်ရည်အတွက် အဓိကသော့ချက်ဖြစ်သည်။ PFA နှင့် PTFE တို့သည် ၎င်းတို့၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတုခံနိုင်ရည်နှင့် အပူတည်ငြိမ်မှုအတွက် လူသိများသော ဖလိုရိုပိုလီမာများဖြစ်ပြီး ၎င်းတို့ကို တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပတ်ပတ်၀န်းကျင်အတွက် စံပြဖြစ်စေသည်။
PFA (Perfluoroalkoxy alkane): ဤပစ္စည်းသည် ၎င်း၏ပြောင်းလွယ်ပြင်လွယ်နှင့် တာရှည်ခံမှုအတွက် ကျယ်ပြန့်စွာအသိအမှတ်ပြုထားသည်။ PFA သည် အပူချိန် 260°C (500°F) အထိ ပြိုကျပျက်စီးခြင်းမရှိဘဲ ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အပူချိန်မြင့်မားသော စီမံဆောင်ရွက်ပေးသည့် အခန်းများတွင် အသုံးပြုရန် သင့်လျော်သည်။ ၎င်း၏ မကပ်သော ဂုဏ်သတ္တိများသည် ပစ္စည်းများ မျက်နှာပြင်တွင် ကပ်ငြိခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးပြီး ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို ပိုမိုလျှော့ချပေးပါသည်။ ထို့အပြင်၊ PFA ၏ ဓာတုမသန်စွမ်းမှုသည် ၎င်းအား ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် ပုံမှန်အားဖြင့် အသုံးပြုလေ့ရှိသော ပြင်းထန်သောအက်ဆစ်များ၊ အယ်ကာလီများနှင့် အော်ဂဲနစ်ပျော်ရည်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။
PTFE (Polytetrafluoroethylene) : ၎င်း၏ ပွတ်တိုက်မှုနည်းသော ကိန်းဂဏန်းနှင့် သာလွန်ကောင်းမွန်သော ဓာတ်ပြုမှုမဟုတ်သောကြောင့် လူသိများသော PTFE သည် ကက်ဆက်လက်ကိုင်များအတွက် နောက်ထပ် အကောင်းဆုံးပစ္စည်းရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။ PTFE သည် သံချေးတက်ခြင်းကို အလွန်ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး အပူချိန် 260°C အထိ ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ၎င်း၏ မြင့်မားသော ဓာတုတိုက်ခိုက်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိမှု သည် အဆိပ်ဖြစ်စေသော ဓာတုပစ္စည်းများ ပါဝင်နေချိန် သို့မဟုတ် ကြာမြင့်စွာ နှစ်မြှုပ်ထားသည့်အချိန်များတွင်ပင် တည်ငြိမ်ပြီး ထိရောက်မှုရှိကြောင်း သေချာစေသည်။ PTFE ၏ ချောမွေ့သော မျက်နှာပြင်နှင့် ပွတ်တိုက်မှုနည်းသော ဂုဏ်သတ္တိများသည် wafer ကက်ဆက်များကို လွယ်ကူလုံခြုံစွာ ကိုင်တွယ်ရာတွင်လည်း အထောက်အကူပြုပါသည်။
ပစ္စည်းနှစ်ခုလုံးသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ သန့်စင်ခန်းပတ်ဝန်းကျင်ရှိ အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော သာလွန်သန့်ရှင်းမှုအဆင့်ကို ပေးဆောင်သည်။
Semicorex Cassette သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏သေးငယ်သောအစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်သော်လည်း wafer ကက်ဆက်များကို ဘေးကင်းသော၊ ထိရောက်ပြီး ညစ်ညမ်းမှုကင်းသောကိုင်တွယ်မှုကိုသေချာစေရန်အတွက် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်ပါသည်။ PFA နှင့် PTFE ကဲ့သို့သော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ပစ္စည်းများဖြင့် ပြုလုပ်ထားသောကြောင့် အဆိုပါလက်ကိုင်များသည် ထူးခြားသောဓာတုပစ္စည်းခံနိုင်ရည်ရှိမှု၊ အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် တာရှည်ခံမှုကို ပေးစွမ်းသည်။ အရည်အသွေးမြင့် ကက်ဆက်လက်ကိုင်များကို ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်သူများသည် ၎င်းတို့၏ လုပ်ငန်းအသွားအလာများကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်၊ ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်များကို လျှော့ချနိုင်ပြီး အော်ပရေတာများနှင့် ပစ္စည်းကိရိယာများ၏ ဘေးကင်းမှုကို သေချာစေသည်။