အလူမီနီယမ် နိုက်ထရိုက် ကြွေထည် အချပ်

အလူမီနီယမ်နိုက်ထရိတ် Ceramic Chuck သည် ထုတ်လုပ်သည့်အဆင့်များအတွင်း wafers များကို လုံခြုံစွာကိုင်ဆောင်ထားနိုင်ရန် အထူးထုတ်လုပ်ထားသော semiconductor wafer လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် နောက်ဆုံးပေါ်ဖြေရှင်းချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ electrostatic chuck (ESC) အဖြစ် လုပ်ဆောင်ခြင်းဖြင့် ဤဆန်းသစ်ထားသော စက်သည် အလူမီနီယမ် နိုက်ထရိတ် ကြွေထည်၏ ထူးခြားသည့် ဂုဏ်သတ္တိများကို တိကျပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော wafer ထိန်းထားမှုကို သေချာစေသည်။

Semicorex Aluminum Nitride Ceramic Chuck သည် wafer ကို ၎င်း၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်သို့ တင်းတင်းကျပ်ကျပ် ဆုပ်ကိုင်ထားရန် electrostatic force ကို အသုံးပြုထားသည်။ ၎င်းကို ဗို့အားမြင့်မြင့်ဖြင့် ဗျူဟာမြောက်ဘက်လိုက်သော ပေါင်းစပ်လျှပ်ကူးပစ္စည်းပါရှိသော စေ့စပ်သေချာစွာ ပြုပြင်ထားသော ပလပ်စတစ်ဖြင့် ရရှိသည်။ ရလဒ်အနေဖြင့်၊ ပလပ်စတစ်နှင့် wafer အကြားတွင် electrostatic ကိုင်ဆောင်ထားသောအားကို တည်ဆောက်ပြီး စီမံဆောင်ရွက်သည့်အဆင့်တစ်လျှောက်လုံးတွင် wafer ကို ထိထိရောက်ရောက် ထိန်းညှိပေးသည်။

Aluminum Nitride Ceramic Chuck ၏ထူးခြားသောအင်္ဂါရပ်များထဲမှတစ်ခုမှာ အပူစီးကူးခြင်းနှင့် လျှပ်ကာပစ္စည်းများ၏ ထူးခြားသောပေါင်းစပ်မှုဖြစ်သည်။ ဤထူးခြားသော ဝိသေသလက္ခဏာများ ရောနှောခြင်းသည် ESC အပလီကေးရှင်းများအတွက် စံပြပစ္စည်းရွေးချယ်မှုတစ်ခု ဖြစ်စေသည်။ မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်စွမ်းသည် စီမံဆောင်ရွက်နေစဉ်အတွင်း wafer တစ်လျှောက် တူညီသောအပူချိန်ဖြန့်ဖြူးမှုကို ထိန်းသိမ်းရန်အတွက် ထိရောက်သောအပူကို စွန့်ထုတ်ကြောင်းသေချာစေသည်။ တပြိုင်နက်တည်း၊ ၎င်း၏ထူးခြားသောလျှပ်ကာဂုဏ်သတ္တိများသည် chuck နှင့် wafer အကြားလျှပ်စစ်အထီးကျန်မှုကိုပေးစွမ်းပြီး လျှပ်စစ်ဝင်ရောက်စွက်ဖက်မှု သို့မဟုတ် ထိလွယ်ရှလွယ်သော semiconductor အစိတ်အပိုင်းများပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကို လျော့နည်းစေသည်။

Aluminum Nitride Ceramic Chuck သည် သမားရိုးကျ chuck ပစ္စည်းများထက် အားသာချက်များစွာကို ပေးဆောင်သည်။ ၎င်း၏ ခိုင်ခံ့သော တည်ဆောက်မှု သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှု ပတ်၀န်းကျင် ၏ ပြင်းထန်သော တောင်းဆိုချက်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ရေရှည်ခံနိုင်ရည် ရှိစေရန် အာမခံပါသည်။ ထို့အပြင်၊ အပူချိန်မြင့်မားသော လုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် လိုက်ဖက်ညီမှုနှင့် အပူချဲ့ထွင်မှုအား ခံနိုင်ရည်ရှိမှုတို့က ၎င်းအား တသမတ်တည်းနှင့် အရည်အသွေးမြင့် wafer လုပ်ငန်းစဉ်များရရှိစေရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သောကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။