Wafer Processing အတွက် Semicorex ၏ PSS Etching Carrier Tray သည် တောင်းဆိုနေသော epitaxy ပစ္စည်းကိရိယာများအတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ အလွန်သန့်စင်သော ဂရပ်ဖိုက်သယ်ဆောင်သူသည် MOCVD၊ epitaxy susceptors၊ pancake သို့မဟုတ် ဂြိုလ်တုပလပ်ဖောင်းများ၊ နှင့် etching ကဲ့သို့သော wafer ကိုင်တွယ်လုပ်ဆောင်ခြင်းကဲ့သို့သော ပါးလွှာသောဖလင်များ စုဆောင်းခြင်းအဆင့်များအတွက် အကောင်းဆုံးဖြစ်သည်။ Wafer Processing အတွက် PSS Etching Carrier Tray သည် မြင့်မားသော အပူနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးခြင်း ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုတို့ ပါဝင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာပြီး ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ရှိသည်။ ကျွန်ုပ်တို့သည် ဥရောပနှင့် အမေရိကဈေးကွက်များစွာကို ဖြည့်ဆည်းပေးပြီး တရုတ်နိုင်ငံတွင် သင်၏ရေရှည်လက်တွဲဖော်ဖြစ်လာရန် မျှော်လင့်ပါသည်။
Semicorex မှ Wafer ထုတ်ယူခြင်းအတွက် PSS Etching Carrier Tray ကို epitaxial ကြီးထွားမှုနှင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် လိုအပ်သော ကြမ်းတမ်းသောပတ်ဝန်းကျင်များအတွက် အင်ဂျင်နီယာချုပ်ထားပါသည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ အလွန်သန့်စင်သော ဂရပ်ဖိုက်တင်သင်္ဘောသည် MOCVD နှင့် epitaxy susceptors၊ ပန်ကိတ် သို့မဟုတ် ဂြိုလ်တုပလပ်ဖောင်းများကဲ့သို့ ပါးလွှာသောဖလင် အပ်နှံမှုအဆင့်များအတွင်း wafer များကို ထောက်ပံ့ပေးရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါသည်။ SiC coated carrier သည် မြင့်မားသော အပူနှင့် ချေးခံနိုင်ရည်၊ အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူဖြန့်ဖြူးခြင်း ဂုဏ်သတ္တိများနှင့် မြင့်မားသော အပူစီးကူးမှုတို့ ပါဝင်သည်။ ကျွန်ုပ်တို့၏ထုတ်ကုန်များသည် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာပြီး ကောင်းမွန်သောစျေးနှုန်းအားသာချက်ကို ပေးဆောင်ပါသည်။
Wafer လုပ်ဆောင်ခြင်းအတွက် PSS Etching Carrier Tray ၏ ကန့်သတ်ချက်များ
CVD-SIC Coating ၏ အဓိက Specifications |
||
SiC-CVD ဂုဏ်သတ္တိများ |
||
အရည်ကြည်ဖွဲ့စည်းပုံ |
FCC β အဆင့် |
|
သိပ်သည်းဆ |
g/cm ³ |
3.21 |
မာကျောခြင်း။ |
Vickers မာကျောမှု |
2500 |
စပါးအရွယ်အစား |
μm |
၂~၁၀ |
ဓာတုသန့်စင်မှု |
% |
99.99995 |
Heat Capacity ၊ |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Sublimation အပူချိန် |
℃ |
2700 |
Felexural Strength |
MPa (RT 4 မှတ်) |
415 |
Young’s Modulus |
Gpa (4pt bend, 1300â¹۔) |
430 |
အပူပိုင်းချဲ့ထွင်ခြင်း (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
အပူစီးကူးမှု |
(W/mK) |
300 |
Wafer လုပ်ဆောင်မှုအတွက် PSS Etching Carrier Tray ၏အင်္ဂါရပ်များ
- အခွံခွာခြင်းမှ ရှောင်ကြဉ်ပြီး မျက်နှာပြင်အားလုံးကို သေချာစွာ လိမ်းပေးပါ။
မြင့်မားသောအပူချိန် oxidation resistance- 1600°C အထိ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် တည်ငြိမ်သည်။
မြင့်မားသော သန့်စင်မှု- မြင့်မားသော အပူချိန် ကလိုရင်းအခြေအနေများအောက်တွင် CVD ဓာတုအငွေ့ဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။
သံချေးတက်ခြင်းကို ခံနိုင်ရည်- မြင့်မားသော မာကျောမှု၊ သိပ်သည်းသော မျက်နှာပြင်နှင့် အမှုန်အမွှားများ။
သံချေးတက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်- အက်ဆစ်၊ အယ်ကာလီ၊ ဆားနှင့် အော်ဂဲနစ်ဓာတ်ပစ္စည်းများ။
- အကောင်းဆုံး laminar ဓာတ်ငွေ့စီးဆင်းမှုပုံစံကိုရယူပါ။
- အပူပရိုဖိုင်း၏ညီညာမှုကိုအာမခံသည်။
- ညစ်ညမ်းမှု သို့မဟုတ် အညစ်အကြေးများ ပျံ့နှံ့ခြင်းမှ ကာကွယ်ပါ။