Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) သည် ချစ်ပ်ထုတ်လုပ်ရာတွင် အသုံးများသော နည်းပညာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်းသည် ပလာစမာအတွင်းရှိ အီလက်ထရွန်များ၏ အရွေ့စွမ်းအင်ကို အသုံးချကာ ဓာတ်ငွေ့အဆင့်တွင် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကို အသက်သွင်းကာ ပါးလွှာသောဖလင်များ စုဆောင်းခြင်းကို ရရှိစေသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါSemiconductors များသည် အခန်းအပူချိန်တွင် လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် conductor များကြားတွင် လျှပ်စစ်စီးကူးနိုင်သော ပစ္စည်းများဖြစ်သည်။ အညစ်အကြေးများကို တားမြစ်ဆေးအဖြစ် လူသိများသော လုပ်ငန်းစဉ်ကို မိတ်ဆက်ခြင်းဖြင့် အဆိုပါပစ္စည်းများသည် လျှပ်ကူးပစ္စည်းဖြစ်လာနိုင်သည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါCVD SiC coated susceptors များသည် Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် အထူးပြု wafer ကိုင်ဆောင်သူများအဖြစ် လုပ်ဆောင်နိုင်ပြီး၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် အဓိကအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် အဆိပ်သင့်သောပတ်ဝန်းကျင်များကဲ့သို့သော ပြင်းထန်သောအခြေအနေမ......
ပိုပြီးဖတ်ပါဆီလီကွန်ကာဗိုက် (SiC) သည် ဆီလီကွန် နှင့် ကာဗွန်အက်တမ်များကြား ကာဗဲလင်ချည်နှောင်မှုဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည့် ဒြပ်ပေါင်းဖြစ်ပြီး ၎င်း၏အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်၊ အပူဒဏ်ခံနိုင်မှု၊ ချေးခံနိုင်ရည်နှင့် မြင့်မားသောအပူစီးကူးနိုင်မှုတို့ကြောင့် လူသိများသည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါ