In semiconductor fabrication, etching is one of the major steps, along with photolithography and thin-film deposition. It involves removing unwanted materials from the surface of a wafer using chemical or physical methods. This step is carried out after coating, photolithography, and developing. It ......
ပိုပြီးဖတ်ပါSiC substrate တွင် Threading Screw Dislocation (TSD)၊ Threading Edge Dislocation (TED)၊ Base Plane Dislocation (BPD) နှင့် အခြားအရာများကဲ့သို့သော အဏုကြည့်မှန်ချို့ယွင်းချက်များ ရှိနိုင်ပါသည်။ ဤချို့ယွင်းချက်များသည် အက်တမ်အဆင့်ရှိ အက်တမ်များ၏ အစီအစဉ်ကို သွေဖည်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာခြင်းဖြစ်သည်။
ပိုပြီးဖတ်ပါSiC substrate တွင် Threading Screw Dislocation (TSD)၊ Threading Edge Dislocation (TED)၊ Base Plane Dislocation (BPD) နှင့် အခြားအရာများကဲ့သို့သော အဏုကြည့်မှန်ချို့ယွင်းချက်များ ရှိနိုင်ပါသည်။ ဤချို့ယွင်းချက်များသည် အက်တမ်အဆင့်ရှိ အက်တမ်များ၏ အစီအစဉ်ကို သွေဖည်ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာခြင်းဖြစ်သည်။ SiC ......
ပိုပြီးဖတ်ပါသုတေသနရလဒ်များအရ TaC coating သည် ဂရပ်ဖိုက်အစိတ်အပိုင်း၏သက်တမ်းကို သက်တမ်းတိုးရန်၊ အချင်းများသောအပူချိန်ကို တိုးမြှင့်ရန်၊ SiC sublimation stoichiometry ကို ထိန်းသိမ်းရန်၊ ညစ်ညမ်းမှု ရွှေ့ပြောင်းမှုကို ဖိနှိပ်ရန်နှင့် စွမ်းအင်သုံးစွဲမှုကို လျှော့ချရန် အကာအကွယ်နှင့် သီးခြားအလွှာတစ်ခုအဖြစ် လုပ်ဆောင်နို......
ပိုပြီးဖတ်ပါ