Silicon Carbide Wafer Boats- Semiconductor ရှိ "မမြင်နိုင်သော wafers များ၏အုပ်ထိန်းသူများ"

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းတွင် အောက်ဆီဂျင်အလွှာတစ်ခုဖွဲ့စည်းရန် wafer မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် အောက်ဆီဂျင်စီးဆင်းသည့် အပူချိန်မြင့်သောပတ်ဝန်းကျင်တွင် wafer ကို oxidation တွင်ထည့်သွင်းခြင်းပါဝင်သည်။ ၎င်းသည် wafer ကိုဓာတုအညစ်အကြေးများမှကာကွယ်ပေးသည်၊ ပတ်လမ်းအတွင်းသို့ယိုစိမ့်သောလျှပ်စီးကြောင်းဝင်ရောက်ခြင်းမှကာကွယ်ပေးသည်၊ ion implantation လုပ်နေစဉ်အတွင်းပျံ့နှံ့မှုကိုကာကွယ်ပေးပြီး etching အတွင်း wafer ချော်ထွက်ခြင်းကိုကာကွယ်ပေးသည်၊ wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်အကာအကွယ်ရုပ်ရှင်တစ်ခုဖန်တီးသည်။ ဤအဆင့်တွင် အသုံးပြုသည့် ပစ္စည်းသည် ဓာတ်တိုးမီးဖိုတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဓါတ်ပြုခန်းအတွင်းရှိ အဓိက အစိတ်အပိုင်းများတွင် wafer လှေ၊ အောက်ခြေ၊ မီးဖိုချောင်ပိုက်များ၊ အတွင်းမီးဖိုပြွန်များနှင့် အပူလျှပ်ကာများ ပါဝင်သည်။ မြင့်မားသော လည်ပတ်မှု အပူချိန်ကြောင့် တုံ့ပြန်မှုခန်းအတွင်းရှိ အစိတ်အပိုင်းများအတွက် စွမ်းဆောင်ရည် လိုအပ်ချက်များလည်း မြင့်မားပါသည်။

wafer သင်္ဘောကို wafer သယ်ယူပို့ဆောင်ရေးနှင့် စီမံဆောင်ရွက်ရာတွင် သယ်ဆောင်သည့်ပစ္စည်းအဖြစ် အသုံးပြုသည်။ မြင့်မားသောပေါင်းစပ်မှု၊ မြင့်မားသောယုံကြည်စိတ်ချရမှု၊ တည်ငြိမ်မှုဆန့်ကျင်ဂုဏ်သတ္တိများ၊ မြင့်မားသောအပူချိန်ခုခံမှု၊ ဝတ်ဆင်မှုခံနိုင်ရည်၊ ပုံပျက်ခြင်းကိုခံနိုင်ရည်၊ ကောင်းမွန်သောတည်ငြိမ်မှု၊ နှင့်ကြာရှည်စွာဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကဲ့သို့သောအားသာချက်များပိုင်ဆိုင်သင့်သည်။ wafer oxidation temperature သည် 800 ℃ နှင့် 1300 ℃ အကြားရှိပြီး ပတ်ဝန်းကျင်ရှိ သတ္တုညစ်ညမ်းမှုများ၏ လိုအပ်ချက်များသည် အလွန်တင်းကျပ်သောကြောင့် wafer လှေကဲ့သို့သော အဓိက အစိတ်အပိုင်းများသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူ၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာနှင့် ဓာတုဂုဏ်သတ္တိများသာမက သတ္တုညစ်ညမ်းမှုပါ အလွန်နည်းပါသည်။

အလွှာအပေါ်အခြေခံ၍ wafer လှေများကို quartz crystal လှေများအဖြစ် ခွဲခြားနိုင်သည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကြွေထည်wafer လှေများ စသည်တို့ဖြစ်သည်။ သို့သော်၊ 7nm အောက်ရှိ လုပ်ငန်းစဉ်များ တိုးတက်မှုနှင့် အပူချိန်မြင့်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်ပြတင်းပေါက်များ ချဲ့ထွင်ခြင်းနှင့်အတူ၊ ရိုးရာ quartz လှေများသည် အပူတည်ငြိမ်မှု၊ အမှုန်အမွှားထိန်းချုပ်မှုနှင့် တစ်သက်တာ စီမံခန့်ခွဲမှုတို့၌ တဖြည်းဖြည်း မလုံလောက်တော့ပါ။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှေများ (SiC လှေများ) သည် သမားရိုးကျ quartz ဖြေရှင်းချက်များအား တဖြည်းဖြည်း အစားထိုးလာပါသည်။

ဘာကြောင့်လဲ။ဆီလီကွန်ကာဗိုက်?

1. High-Temperature Stability

မြင့်မားသောအပူချိန်တည်ငြိမ်မှုသည် SiC လှေများ၏အထင်ရှားဆုံးအားသာချက်ဖြစ်သည်။ ၎င်းတို့သည် အလွန်မြင့်မားသောအပူချိန် (> 1300 ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်တွင်ပင် ပုံပျက်ခြင်း သို့မဟုတ် လျော့ရဲခြင်း) မရှိသလောက်ဖြစ်ပြီး အချိန်ကြာမြင့်စွာ တိကျသော wafer slot positioning ကို ထိန်းသိမ်းထားသည်။

2. Ultra-Long Lifespan

လှေတစ်စင်းတည်းတွင် ဝန်ထမ်းစွမ်းရည်မြင့်မားပြီး ဒါဇင်နှင့်ချီသော 12 လက်မအရွယ် wafer များကို တစ်ပြိုင်နက် ထောက်ပံ့ပေးနိုင်သည်။ သမားရိုးကျ quartz လှေများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက SiC လှေများသည် ပျမ်းမျှ သက်တမ်း 5-10 ဆ ပိုမိုရှည်လျားပြီး စက်ပစ္စည်း ပြောင်းလဲမှု အကြိမ်ရေနှင့် ပိုင်ဆိုင်မှု စုစုပေါင်း ကုန်ကျစရိတ်တို့ကို လျှော့ချပေးပါသည်။

3. မျက်နှာပြင်ကို သန့်ရှင်းစေပြီး ညစ်ညမ်းမှု အလွန်နည်းသည်။

မြင့်မားသောပစ္စည်း သန့်စင်မှုနှင့် သတ္တုညစ်ညမ်းမှု အလွန်နည်းသော ဆီလီကွန် wafers များ၏ နောက်ဆက်တွဲ ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးပါသည်။ 0.1μm အောက်တွင် Ra ဖြင့် ကောင်းမွန်သော မျက်နှာပြင် ကြမ်းတမ်းမှု ထိန်းချုပ်မှုသည် အမှုန်အမွှားများ ကြွေကျခြင်းကို တားဆီးပေးပြီး အဆင့်မြင့် လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ သန့်ရှင်းမှု လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီပါသည်။

4. Ultra-High Temperature Processes အတွက် သင့်လျော်သည်။

အပူချိန် 1200°C အထက် လိုအပ်သော လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် (ဥပမာ- အထူးပြုထူထဲသော ဖလင်ဓာတ်တိုးခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များ၊ SiC စက်ပစ္စည်း ထုတ်လုပ်ခြင်း သို့မဟုတ် နက်ရှိုင်းသော ကတုတ်ကျင်းဖြည့်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များ)၊ SiC လှေများသည် အစားထိုး၍မရသော ရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။

အသုံးချမှုများဆီလီကွန်ကာဗိုက် လှေများ

ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေး

ဓာတ်တိုးခြင်း၊ ပျံ့နှံ့ခြင်း၊ ဓာတုအငွေ့ပြန်သွင်းခြင်း (CVD) နှင့် အိုင်းယွန်းထည့်သွင်းခြင်းကဲ့သို့သော ချစ်ပ်ပြားထုတ်လုပ်မှု၏ အပူချိန်မြင့်မားသည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် ဆီလီကွန်ကာဗိုက်များကို ဆီလီကွန်ကာဘိုင်ဘိုင်ဘုတ်များကို ပံ့ပိုးပေးကာ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ပြားချပ်သွားစေရန်နှင့် အပူဖိစီးမှုကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော ကွက်လပ်များ မှားယွင်းမှု သို့မဟုတ် ပုံပျက်ခြင်းများကို ကာကွယ်ပေးကာ ချပ်စ်တိကျမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို အာမခံပါသည်။

Photovoltaic စက်မှုလုပ်ငန်း

ဆီလီကွန်ကာဗိုက် ကြွေထည်များအလွန်ကောင်းမွန်သော စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ကြံ့ခိုင်မှု၊ အပူတည်ငြိမ်မှု၊ အပူချိန်မြင့်မားသော ခုခံမှု၊ ဓာတ်တိုးမှု ခုခံမှု၊ အပူဒဏ်ခံနိုင်ရည်နှင့် ဓာတုချေးခံနိုင်ရည်တို့ ပါ၀င်သောကြောင့် ၎င်းတို့ကို သတ္တုဗေဒ၊ စက်ယန္တရား၊ စွမ်းအင်အသစ်နှင့် ဆောက်လုပ်ရေးပစ္စည်းများ ဓာတုပစ္စည်းများကဲ့သို့ လူကြိုက်များသော နယ်ပယ်များတွင် တွင်ကျယ်စွာ အသုံးပြုလျက်ရှိသည်။ ၎င်းတို့၏ စွမ်းဆောင်ရည်သည် ပျံ့နှံ့မှု၊ LPCVD (ဖိအားနည်းသော ဓာတုငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု) နှင့် TOPcon ဆဲလ်များအတွက် PECVD (ပလာစမာ ဓာတုငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု) ကဲ့သို့သော photovoltaic ထုတ်လုပ်မှုအတွက် လုံလောက်ပါသည်။ သမားရိုးကျ quartz ပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက လှေထောက်ကူများ ပြုလုပ်ရာတွင် အသုံးပြုသည့် ဆီလီကွန်ကာဘိုင် ကြွေထည်ပစ္စည်းများ၊ လှေငယ်များနှင့် tubular ထုတ်ကုန်များသည် ပိုမိုခိုင်ခံ့မှု၊ အပူတည်ငြိမ်မှု ပိုမိုကောင်းမွန်ပြီး မြင့်မားသော အပူချိန်အောက်တွင် ပုံပျက်သွားခြင်းမရှိပေ။ ၎င်းတို့၏ သက်တမ်းသည် quartz ထက် ငါးဆပို၍ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု ရပ်တန့်ခြင်းကြောင့် လည်ပတ်စရိတ်နှင့် စွမ်းအင်ဆုံးရှုံးမှုကို သိသိသာသာ လျှော့ချပေးသည်။ ၎င်းသည် ရှင်းလင်းသောကုန်ကျစရိတ်အားသာချက်ကိုဖြစ်ပေါ်စေပြီး ကုန်ကြမ်းများကို တွင်ကျယ်စွာရရှိနိုင်သည်။

တတိယမျိုးဆက် Semiconductors

သတ္တု-အော်ဂဲနစ် ဓာတုအငွေ့ပျံခြင်း (MOCVD) တုံ့ပြန်မှုအခန်းတွင်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှေများကို အမိုးနီးယား (NH3) ကဲ့သို့သော အဆိပ်သင့်စေသော ဓာတ်ငွေ့ပတ်ဝန်းကျင်များကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှေများကို အသုံးပြုပြီး ဂါလီယမ်နိုက်ထရိတ် (Galumin) ကဲ့သို့သော တတိယမျိုးဆက် semiconductor ပစ္စည်းများ ကြီးထွားမှုနှင့် LED စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပါသည်။ silicon carbide တစ်ခုတည်းသောပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမှုတွင်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်လှေများသည် အစေ့ပုံဆောင်ခဲများကို ဆီလီကွန်ကာဗိုက်တစ်ခုတည်းသောပုံဆောင်ခဲကြီးထွားမီးဖိုများတွင် ပံ့ပိုးပေးသည်၊၊ သွန်းသောဆီလီကွန်၏အပူချိန်မြင့်သောပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိကာ ဆီလီကွန်ကာဘိုင်တစ်ခုတည်းပုံဆောင်ခဲများ၏ကြီးထွားမှုအတွက် တည်ငြိမ်သောအထောက်အပံ့ပေးကာ အရည်အသွေးမြင့်ဆီလီကွန်ကာဘိုင်၏ပြင်ဆင်မှုကို မြှင့်တင်ပေးသည်။

ဆီလီကွန်ကာဗိုက် Wafer Boat Development Trends

စျေးကွက်အရ၊ SEMI ဒေတာအရ၊ ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာ wafer သင်္ဘောစျေးကွက်အရွယ်အစားသည် 2025 ခုနှစ်တွင် ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် $1.4 ဘီလီယံရှိပြီး 2028 ခုနှစ်တွင် US$ 1.8 ဘီလီယံအထိရောက်ရှိရန် ခန့်မှန်းထားသည်။ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ထိုးဖောက်မှုနှုန်း 20% နှင့် တရုတ်နိုင်ငံတွင် စျေးကွက်ဝေစုသုံးပုံတစ်ပုံ (China Semiconductor Industry Association မှ အချက်အလက်များအရ US$ 2 million ရှိမည်) အသီးသီး။

နည်းပညာအရ၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်သည် quartz ထက် အပူချိန်ချဲ့ထွင်မှုပိုကောင်းသောကြောင့် ၎င်းသည် အက်ပလီကေးရှင်းများတွင် ကွဲအက်နိုင်ခြေပိုများသည်။ ထို့ကြောင့် ချုပ်ရိုးများကို လျှော့ချရန်နှင့် အမှုန်များ ကြွေကျခြင်းအန္တရာယ်ကို လျှော့ချရန်အတွက် ပေါင်းစပ်ပုံသွင်းနည်းပညာကို ထုတ်လုပ်မှုတွင် မြှင့်တင်လျက်ရှိသည်။ ထို့အပြင်၊ ဝင်ရိုးငါးခုပါသော စက်နှင့် ဝါယာကြိုးဖြတ်ခြင်းနည်းပညာများဖြင့် wafer သင်္ဘော၏သွားအပေါက်ဒီဇိုင်းကို အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ခြင်းဖြင့် wafer ကိုင်တွယ်ခြင်း၏တိကျမှုနှင့်ချောမွေ့မှုကိုသေချာစေသည်။

Semicorex သည် အရည်အသွေးမြင့်မှုကို ပေးသည်။ဆီလီကွန်ကာဗိုက် Wafer လှေများ. သင့်တွင် စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများ သို့မဟုတ် နောက်ထပ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ လိုအပ်ပါက၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ရန် တုံ့ဆိုင်းမနေပါနှင့်။

ဖုန်း # +86-13567891907 သို့ ဆက်သွယ်နိုင်ပါသည်။

အီးမေးလ်- sales@semicorex.com