Focus Rings ၏လုပ်ဆောင်ချက်ကဘာလဲ။

Focus rings များသည် semiconductor etching လုပ်ငန်းစဉ်များ၏ တူညီမှုနှင့် တည်ငြိမ်မှုရှိစေရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းများဖြစ်သည်။ လျှပ်စစ်နှင့် အပူအကွက်များကို တိကျစွာထိန်းချုပ်ခြင်းဖြင့် အာရုံကွင်းများသည် wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ပလာစမာကို အာရုံစူးစိုက်နိုင်ပြီး wafer ပေါ်ရှိ နေရာအားလုံးတွင် တသမတ်တည်း ထွင်းထုခြင်းရလဒ်များကို သေချာစေသည်။

အာရုံစူးစိုက်ကွင်းများ၏လုပ်ဆောင်ချက်များ

1. ခြစ်ရာ တူညီမှုကို မြှင့်တင်ပါ။

etching လုပ်ငန်းစဉ်တွင်၊ focus rings များသည် ပလာစမာအပေါ် အာရုံစူးစိုက်နိုင်သည်။waferတူညီသော ပလာစမာသိပ်သည်းဆ၊ အိုင်းယွန်းဗုံးကြဲခြင်းထောင့်နှင့် wafer အစွန်းနှင့် အလယ်ဗဟိုဒေသနှစ်ခုလုံးရှိ စွမ်းအင်အဆင့်များကို ထိရောက်စွာအာမခံပေးသော မျက်နှာပြင်။ ၎င်းတို့သည် wafer အစွန်းရှိ လျှပ်စစ်စက်ကွင်းဖြန့်ဖြူးမှုကို ပြုပြင်ပေးကာ etching rate၊ critical dimension နှင့် edge effects များကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော morphology ကွဲလွဲချက်များကို ပြုပြင်ပေးကာ wafer မျက်နှာပြင်တစ်ခုလုံးတွင် etching ညီညွတ်မှုကို သေချာစေသည်။ Focusing ring သည် အလွန်အကျွံဝတ်ဆင်ပါက သို့မဟုတ် focal ring မရှိပါက၊ plasma သည် wafer edge မှ ပျံ့သွားမည်ဖြစ်ပြီး နောက်ဆုံးတွင် edge နှင့် center ဧရိယာများကြားမျဉ်း၏ မျဉ်းအကျယ်ကို မလိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေမည့် သွေဖည်မှုဖြစ်စေသည်။

2. electrostatic chuck ကိုကာကွယ်ပါ။

Focus rings များကို plasma ဗုံးကြဲခြင်းနှင့် တိုက်ရိုက်ထိတွေ့ခြင်းမှ electrostatic chucks ၏ wafer carrier မျက်နှာပြင်အပြင်ဘက်တွင် တပ်ဆင်ထားသည်။ ဤအရစ်ကျတပ်ဆင်မှုသည် etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း ပလာစမာမှ electrostatic chucks များဆက်သွယ်ခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာအတားအဆီးအဖြစ် ဆောင်ရွက်ပေးပြီး၊ ထို့ကြောင့် ပလာစမာပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကို သိသိသာသာလျှော့ချပေးသည်။ Focus rings များသည် etching လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း electrostatic chucks များကို တွယ်ကပ်ခြင်းမှ ထုတ်ပေးသော အကျိုးဆက်များကို တားဆီးနိုင်ပြီး၊ ထို့ကြောင့် chuck ညစ်ညမ်းမှုနှင့် ပိတ်ဆို့ခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော စွမ်းဆောင်ရည် ကျဆင်းမှုကို ရှောင်ရှားနိုင်သည်။ ၎င်းသည် အီလက်ထရွန်းနစ် chucks များ၏ ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှု စက်ဝန်းနှင့် သက်တမ်းကို များစွာ တိုးစေပြီး စက်ပစ္စည်း ပြုပြင်ထိန်းသိမ်းမှုနှင့် အစားထိုးစရိတ်များကို လျှော့ချပေးသည်။

Focus rings များကို အများအားဖြင့် မြင့်မားသော သန့်စင်မှုဖြင့် ပြုလုပ်ထားသည်။quartz, ဆီလီကွန်နှင့်ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းများ။ ၎င်းတို့၏ အလွန်ကောင်းမွန်သော ပြီးပြည့်စုံသော စွမ်းဆောင်ရည်ကြောင့်၊ ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ပစ္စည်းများသည် ဖြတ်တောက်ခြင်း လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် ပင်မရွေးချယ်မှုဖြစ်လာပါသည်။ တရုတ်နိုင်ငံရှိ ယုံကြည်စိတ်ချရသော semiconductor focus ring ပေးသွင်းသူအနေဖြင့် Semicorex သည် အရည်အသွေးမြင့်မားမှုကို ပေးဆောင်ပါသည်။ဆီလီကွန်ကာဘိုင်အာရုံကွင်းetching equipment ၏ မတူညီသော လိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီစေရန် အရွယ်အစား အမျိုးမျိုး။ Semicorex သည် သင်၏ စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများနှင့် ဝယ်ယူမှုများကို အချိန်မရွေး ကြိုဆိုပါသည်။