Fused Quartz Pedestal

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းတွင်၊ Fused Quartz Pedestal သည် wafers များကိုကိုင်ဆောင်ထားသည့် quartz သင်္ဘောအတွက် ပံ့ပိုးမှုတည်ဆောက်ပုံတစ်ခုအဖြစ် ဆောင်ရွက်သည်။ အပူချိန်ကို ထိန်းထားခြင်းဖြင့်၊ တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရမှုအတွက် အရေးပါသော အချက်တစ်ချက်ဖြစ်သော ပါးလွှာသော ဖလင်လွှာကို ရရှိစေရန် ကူညီပေးပါသည်။ အောက်ခံခုံသည် လုပ်ငန်းစဉ်ခန်းအတွင်း အပူနှင့် အလင်းဖြန့်ဖြူးမှု ညီညာစေရန် သေချာစေပြီး၊ ထို့ကြောင့် အစစ်ခံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်၏ အလုံးစုံအရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပေးပါသည်။

Fused Quartz Material ၏ အားသာချက်များ

1.High Temperature Resistance

Fused Quartz Pedestal သည် ခန့်မှန်းခြေအားဖြင့် 1730°C ခန့်ရှိပြီး ပျော့ပျောင်းသောအချက်ပါရှိပြီး အပူချိန် 1100°C မှ 1250°C အတွင်း တာရှည်အသုံးပြုမှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ထို့အပြင် ၎င်းသည် အပူချိန် ၁၄၅၀ ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ရေတိုထိတွေ့မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

2. Corrosion Resistance

Fused Quartz Pedestal သည် hydrofluoric acid မှလွဲ၍ အက်ဆစ်အများစုအတွက် ဓာတုဗေဒနည်းအရ အားနည်းသည်။ ၎င်း၏အက်ဆစ်ခံနိုင်ရည်သည် ကြွေထည်ပစ္စည်းများထက် အဆ 30 နှင့် stainless steel အဆ 150 ရှိသည်။ မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်၊ ပေါင်းစပ်ထားသော quartz ၏ ဓာတုဗေဒတည်ငြိမ်မှုနှင့် မကိုက်ညီနိုင်သောကြောင့် ကြမ်းတမ်းသောဓာတုပတ်ဝန်းကျင်အတွက် စံပြရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်စေသည်။

3. အပူတည်ငြိမ်မှု

Fused Quartz Pedestal ၏ထူးခြားသောအင်္ဂါရပ်များထဲမှတစ်ခုမှာ၎င်း၏အနိမ့်ဆုံးအပူချဲ့ကိန်းဖြစ်သည်။ ဤပစ္စည်းသည် ကွဲအက်ခြင်းမရှိဘဲ ပြင်းထန်သော အပူချိန်ပြောင်းလဲမှုများကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ၎င်းကို 1100°C တွင် လျင်မြန်စွာ အပူပေးပြီး ပျက်စီးမှုမတည်တံ့ဘဲ အခန်းအပူချိန်တွင် နှစ်မြှုပ်ထားနိုင်သည်—စိတ်ဖိစီးမှုမြင့်မားသော ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော လက္ခဏာတစ်ခုဖြစ်သည်။

ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်

Fused Quartz Pedestal အတွက် ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်သည် အရည်အသွေး အမြင့်ဆုံး စံချိန်စံညွှန်းများကို သေချာစေရန် စေ့စပ်သေချာစွာ ထိန်းချုပ်ထားသည်။ ခြေနင်းများကို အတန်းအစား 10,000 နှင့် အထက်ရှိသော သန့်စင်ခန်းပတ်ဝန်းကျင်တွင် ပြုလုပ်သော အပူချိန်ထိန်းညှိခြင်းနှင့် ဂဟေဆော်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များဖြင့် ထုတ်လုပ်ပါသည်။ သန့်စင်သောရေ (18 MΩ) ဖြင့် နောက်ဆက်တွဲ သန့်ရှင်းရေး၊ထုတ်ကုန်၏ သန့်ရှင်းမှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပိုမိုသေချာစေသည်။ Fused Quartz Pedestal တိုင်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်း၏ တင်းကျပ်သောလိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီစေရန် class 1,000 သို့မဟုတ် ထို့ထက်မြင့်သော cleanroom တွင် ပြင်းထန်သောစစ်ဆေးခြင်း၊ သန့်ရှင်းရေးနှင့် ထုပ်ပိုးခြင်းများပြုလုပ်သည်။

High Purity Opaque Quartz ပစ္စည်း

အပူနှင့် အလင်းရောင်ကို ထိထိရောက်ရောက် တားဆီးရန်၊ Fused Quartz Pedestal သည် သန့်စင်မှုမြင့်မားသော ရောင်စုံ quartz ပစ္စည်းကို အသုံးပြုထားသည်။ ဤပစ္စည်း၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများသည် လုပ်ငန်းစဉ်ခန်းအတွင်း တည်ငြိမ်ပြီး တူညီသောအပူချိန်ကို ထိန်းသိမ်းထားရန် ခြေနင်း၏စွမ်းရည်ကို မြှင့်တင်ပေးကာ wafers ပေါ်ရှိ ပါးလွှာသောဖလင်များ၏ တသမတ်တည်းအရည်အသွေးကို အာမခံပါသည်။

ကျယ်ပြန့်သောအသုံးချပရိုဂရမ်များ

Fused Quartz Pedestal ၏ထူးခြားသောဂုဏ်သတ္တိများသည် semiconductor လုပ်ငန်းအတွင်း အသုံးချမှုအမျိုးမျိုးအတွက် သင့်လျော်စေသည်။ ALD လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ ၎င်းသည် အဆင့်မြင့်တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများထုတ်လုပ်ရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အက်တမ်အဆင့်တွင် ပါးလွှာသောဖလင်များကြီးထွားမှုကို အတိအကျထိန်းချုပ်မှုကို ပံ့ပိုးပေးသည်။ LPCVD လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်း၊ ခြေနင်း၏အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် အလင်း-ပိတ်ဆို့ခြင်းစွမ်းရည်များသည် တစ်ပြေးညီဖလင်စုဆောင်းခြင်း၊ စက်စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အထွက်နှုန်းကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပါသည်။

ပျံ့နှံ့မှုဖြစ်စဉ်များတွင်၊ Fused Quartz Pedestal ၏ အပူချိန်မြင့်မားသော ခုခံမှုနှင့် ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ ပြတ်တောက်မှုတို့သည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာပစ္စည်းများ၏ ယုံကြည်စိတ်ချရပြီး တသမတ်တည်း သုံးစွဲမှုကို သေချာစေသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်များသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ ၏ လျှပ်စစ်ဂုဏ်သတ္တိများကို သတ်မှတ်ရန် အရေးကြီးပြီး fused quartz ကဲ့သို့ အရည်အသွေးမြင့် ပစ္စည်းများကို အသုံးပြုခြင်းသည် အကောင်းဆုံးရလဒ်များ ရရှိရန်အတွက် မရှိမဖြစ် လိုအပ်ပါသည်။