CVD SiC ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည့် Etching Ring သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်သော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး ပလာစမာ etching ပတ်၀န်းကျင်တွင် ထူးခြားသောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုပေးစွမ်းသည်။ ၎င်း၏သာလွန်မာကျောမှု၊ ဓာတုခံနိုင်ရည်၊ အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုတို့ဖြင့် CVD SiC သည် ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်သည် တိကျသည်၊ ထိရောက်ပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရကြောင်း သေချာစေသည်။ Semicorex CVD SiC Etching Rings ကို ရွေးချယ်ခြင်းဖြင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်သူများသည် ၎င်းတို့၏ ပစ္စည်းများ၏ သက်တမ်းကို မြှင့်တင်နိုင်ပြီး စက်ရပ်ချိန်ကို လျှော့ချကာ ၎င်းတို့၏ ထုတ်ကုန်များ၏ အလုံးစုံ အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်နိုင်ပါသည်။*
Semicorex Etching Ring သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ကိရိယာများတွင် အဓိကကျသော အစိတ်အပိုင်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး အထူးသဖြင့် ပလာစမာ etching စနစ်များတွင်ဖြစ်သည်။ Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide (CVD SiC) မှပြုလုပ်ထားသည့် ဤအစိတ်အပိုင်းသည် အလွန်လိုအပ်သော ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်များတွင် သာလွန်ကောင်းမွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်ကိုပေးစွမ်းပြီး ၎င်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် တိကျသော etching လုပ်ငန်းစဉ်များအတွက် မရှိမဖြစ်ရွေးချယ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။
တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများဖန်တီးရာတွင် အခြေခံအဆင့်ဖြစ်သော etching လုပ်ငန်းစဉ်သည် ကြမ်းတမ်းသော ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်များကို ပြိုပျက်မသွားဘဲ ခံနိုင်ရည်ရှိသော ကိရိယာများ လိုအပ်သည်။ ဆီလီကွန် wafers များပေါ်တွင် ပလာစမာပုံစံများကို ထုလုပ်ရန်အတွက် ပလာစမာကိုအသုံးပြုသည့် အခန်း၏တစ်စိတ်တစ်ပိုင်းအဖြစ် နေရာယူထားသော etching ring သည် ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။
etching ring သည် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံနှင့် အကာအကွယ်အတားအဆီးတစ်ခုအဖြစ် လုပ်ဆောင်ပြီး ပလာစမာကို ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း လိုအပ်သည့်နေရာတွင် တိကျစွာညွှန်ကြားထားကြောင်း သေချာစေပါသည်။ အပူချိန်မြင့်မားမှု၊ အဆိပ်သင့်ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ပလာစမာအခန်းများအတွင်း ပြင်းထန်သောအခြေအနေများကြောင့် ခြစ်ခြင်းလက်စွပ်ကို ဝတ်ဆင်ခြင်းနှင့် သံချေးတက်ခြင်းတို့ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော ပစ္စည်းများမှ တည်ဆောက်ထားရန် အရေးကြီးပါသည်။ ဤနေရာတွင် CVD SiC (Chemical Vapor Deposition Silicon Carbide) သည် ၎င်း၏တန်ဖိုးကို ထွင်းထုခြင်းအတွက် ထိပ်တန်းရွေးချယ်မှုတစ်ခုအဖြစ် သက်သေပြနေပါသည်။
CVD SiC သည် ၎င်း၏ ထူးထူးခြားခြား စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ၊ ဓာတုနှင့် အပူဓာတ်ဂုဏ်သတ္တိများကြောင့် လူသိများသော အဆင့်မြင့် ကြွေထည်ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤဝိသေသလက္ခဏာများသည် စွမ်းဆောင်ရည်လိုအပ်ချက်များ မြင့်မားသည့်နေရာတွင်၊ အထူးသဖြင့် ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်တွင် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ကိရိယာများတွင် အသုံးပြုရန် စံပြပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်စေသည်။
မြင့်မားသော မာကျောမှုနှင့် ခံနိုင်ရည်ရှိမှု-
CVD SiC သည် စိန်ပြီးလျှင် ရရှိနိုင်သော အခက်ခဲဆုံးပစ္စည်းများထဲမှ တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤပြင်းထန်သော မာကျောမှုသည် အလွန်ကောင်းမွန်သော ဝတ်ဆင်မှုကို ခံနိုင်ရည်ရှိပြီး ၎င်းသည် ပလာစမာ etching ၏ ကြမ်းတမ်းပြီး ပွန်းပဲ့သော ပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိစေသည်။ လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း အိုင်းယွန်းများဖြင့် အဆက်မပြတ် ဗုံးကြဲခြင်းနှင့် ထိတွေ့ထားသော ထွင်းထုထားသော လက်စွပ်သည် အခြားပစ္စည်းများနှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ၎င်း၏ဖွဲ့စည်းပုံဆိုင်ရာ ခိုင်မာမှုကို အချိန်ကြာမြင့်စွာ ထိန်းသိမ်းထားနိုင်ပြီး အစားထိုးမှုအကြိမ်ရေကို လျှော့ချနိုင်သည်။
Chemical Inertness-
ဖလိုရင်းနှင့် ကလိုရင်းကဲ့သို့သော ပလာစမာဓာတ်ငွေ့များ၏ အဆိပ်သင့်မှုဖြစ်စဉ်တွင် အဓိကစိုးရိမ်မှုတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤဓာတ်ငွေ့များသည် ဓာတုဗေဒအရ ခံနိုင်ရည်မရှိသော ပစ္စည်းများတွင် သိသာထင်ရှားသော ပျက်စီးယိုယွင်းမှုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ CVD SiC သည် အထူးသဖြင့် အဆိပ်ဓာတ်ငွေ့များပါရှိသော ပလာစမာပတ်ဝန်းကျင်တွင် ခြွင်းချက်မရှိ ဓာတုဗေဒဆိုင်ရာ အားနည်းမှုကို ပြသသည်၊ ထို့ကြောင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များ ညစ်ညမ်းခြင်းကို ကာကွယ်ပေးပြီး etching လုပ်ငန်းစဉ်၏ သန့်ရှင်းမှုကို အာမခံပါသည်။
အပူပိုင်းတည်ငြိမ်မှု-
Semiconductor etching လုပ်ငန်းစဉ်များသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် ဖြစ်ပေါ်လေ့ရှိပြီး ပစ္စည်းများပေါ်တွင် အပူဖိစီးမှုကို ဖြစ်စေနိုင်သည်။ CVD SiC တွင် အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူတည်ငြိမ်မှုနှင့် အပူချိန်နိမ့်ကျသော ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းများပါရှိပြီး ၎င်းသည် မြင့်မားသောအပူချိန်တွင်ပင် ၎င်း၏ပုံသဏ္ဍာန်နှင့် ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာ ခိုင်မာမှုကို ထိန်းသိမ်းထားနိုင်စေပါသည်။ ၎င်းသည် ထုတ်လုပ်မှုစက်ဝန်းတစ်လျှောက် တသမတ်တည်း ထွင်းထုခြင်း တိကျသေချာစေရန် အပူပုံပျက်ခြင်းအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးသည်။
မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှု-
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုသည့် ပစ္စည်းများ၏ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုသည် အရေးကြီးဆုံးဖြစ်သောကြောင့် ညစ်ညမ်းမှုတိုင်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အထွက်နှုန်းကို ထိခိုက်စေနိုင်သောကြောင့် ဖြစ်သည်။ CVD SiC သည် သန့်စင်မှုမြင့်မားသော ပစ္စည်းတစ်ခုဖြစ်ပြီး၊ ထုတ်လုပ်ရေးလုပ်ငန်းစဉ်တွင် အညစ်အကြေးများ ထည့်သွင်းခြင်းအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးသည်။ ၎င်းသည် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်မှုတွင် ပိုမိုမြင့်မားသောအထွက်နှုန်းနှင့် အလုံးစုံအရည်အသွေးကို ပိုမိုကောင်းမွန်စေပါသည်။
CVD SiC ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသော Etching Ring ကို ပလာစမာ etching စနစ်များတွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုထားပြီး၊ ၎င်းသည် semiconductor wafers များပေါ်တွင် ရှုပ်ထွေးသောပုံစံများကို ထွင်းထုရန်အတွက် အသုံးပြုသည်။ ဤပုံစံများသည် ပရိုဆက်ဆာများ၊ မန်မိုရီချစ်ပ်များနှင့် အခြားသော မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်များအပါအဝင် ခေတ်မီတစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် တွေ့ရှိရသည့် အဏုကြည့်ပတ်လမ်းများနှင့် အစိတ်အပိုင်းများကို ဖန်တီးရန်အတွက် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။