Silicon Wafers တွင် Crystal Orientation နှင့် ချို့ယွင်းချက်များ

Silicon ၏ Crystal Orientation ကို အဘယ်အရာက သတ်မှတ်သနည်း။

ပုံဆောင်ခဲယူနစ် ဆဲလ်များ၏ အခြေခံmonocrystalline ဆီလီကွန်ဇင့်ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းပုံသည် ဆီလီကွန်အက်တမ်တစ်ခုစီသည် အိမ်နီးချင်းဆီလီကွန်အက်တမ်လေးခုနှင့် ဓာတုဗေဒနည်းဖြင့် ချည်နှောင်ထားသည့် ဇင့်ပေါင်းစပ်ဖွဲ့စည်းပုံဖြစ်သည်။ ဤဖွဲ့စည်းပုံကို monocrystalline ကာဗွန်စိန်များတွင်လည်း တွေ့ရှိရသည်။ 

ပုံ 2-ယူနစ်ဆဲလ်Monocrystalline ဆီလီကွန်ဖွဲ့စည်းပုံ

Crystal orientation ကို x၊ y နှင့် z axes များ၏ လမ်းဆုံတွင် ဦးတည်နေသော လေယာဉ်များကို ကိုယ်စားပြုသည့် Miller အညွှန်းများဖြင့် သတ်မှတ်သည်။ ပုံ 2 သည် ကုဗပုံသဏ္ဍာန်များ၏ <100> နှင့် <111> ပုံဆောင်ခဲများ တိမ်းညွှတ်မှုကို ဖော်ပြသည်။ ထူးခြားသည်မှာ <100> လေယာဉ်သည် ပုံ 2(a) တွင်ပြထားသည့်အတိုင်း စတုရန်းလေယာဉ်ဖြစ်ပြီး၊ <111> လေယာဉ်သည် ပုံ 2(b) တွင်ဖော်ပြထားသည့်အတိုင်း တြိဂံပုံဖြစ်သည်။

ပုံ 2- (က) <100> Crystal Orientation Plane၊ (b) <111> Crystal Orientation Plane

MOS စက်ပစ္စည်းများအတွက် <100> ဦးတည်ချက်အား အဘယ်ကြောင့် နှစ်သက်သနည်း။

<100> orientation ကို MOS စက်များ ဖန်တီးရာတွင် အများအားဖြင့် အသုံးပြုသည်။

ပုံ 3- <100> Orientation Plane ၏ Latticeဖွဲ့စည်းပုံ

၎င်း၏ မြင့်မားသော အက်တမ်လေယာဉ်သိပ်သည်းဆကြောင့် BJT စက်ပစ္စည်းများကို ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် <111> တိမ်းညွှတ်မှုကို နှစ်သက်ကြပြီး ပါဝါမြင့်သော စက်များအတွက် သင့်လျော်သည်။ <100> wafer ကွဲသွားသောအခါ၊ အပိုင်းအစများသည် အများအားဖြင့် 90° ထောင့်တွင် ဖြစ်ပေါ်တတ်သည်။ ဆန့်ကျင်ဘက်၊ <111>waferအပိုင်းအစများသည် 60° တြိဂံပုံသဏ္ဍာန်ဖြင့် ပေါ်လာသည်။

ပုံ 4- <111> Orientation Plane ၏ Latticeဖွဲ့စည်းပုံ

Crystal Direction ကို ဘယ်လိုသတ်မှတ်သလဲ။

အမြင်အာရုံခွဲခြားခြင်း- ထွင်းထုကျင်းများနှင့် သေးငယ်သောပုံဆောင်ခဲအသွင်အပြင်များကဲ့သို့သော ရုပ်ပုံသဏ္ဍာန်အားဖြင့် ကွဲပြားခြင်း။

X-ray DiffractionMonocrystalline ဆီလီကွန်စိုစွတ်သော ထွင်းထုနိုင်ပြီး ၎င်း၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ချို့ယွင်းချက်များသည် ထိုနေရာများတွင် ထွင်းထုမှုနှုန်း မြင့်မားခြင်းကြောင့် သတ္တုတွင်းများ ဖြစ်ပေါ်လာမည်ဖြစ်သည်။ <100> အတွက်wafers<100> လေယာဉ်ပေါ်ရှိ ခြစ်ရာနှုန်းသည် <111> လေယာဉ်ထက် ပိုမြန်သောကြောင့်၊ KOH ဖြေရှင်းချက်ဖြင့် ရွေးချယ်သော ထွင်းထုခြင်းသည် လေးဖက်ခြောက်လှန်ထားသော ပိရမစ်နှင့် ဆင်တူသော အုတ်ကျင်းများကို ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ <111> အတွက်wafersပုံသဏ္ဍာန်ကျင်းများသည် tetrahedron သို့မဟုတ် သုံးဖက်ခြောက်လှန်ထားသော ပိရမစ်ပုံသဏ္ဍာန်ဖြစ်သည်။

ပုံ 5- <100> နှင့် <111> Wafers များတွင် Ech Pits

Silicon Crystals တွေမှာ အဖြစ်များတဲ့ ချို့ယွင်းချက်တွေက ဘာတွေလဲ။

တိုးတက်မှုနှင့် နောက်ဆက်တွဲ လုပ်ငန်းစဉ်များအတွင်းဆီလီကွန် crystals နှင့် wafers၊ မြောက်မြားစွာသော crystal ချို့ယွင်းချက်များ ဖြစ်ပေါ်နိုင်သည်။ အရိုးရှင်းဆုံးအချက်မှာ အက်တမ်တစ်ခုသည် ရာဇမတ်ကွက်မှ လွဲချော်နေသည့် Schottky ချို့ယွင်းမှုဟုလည်း လူသိများသော လစ်လပ်နေရာတစ်ခုဖြစ်သည်။ နေရာလွတ်များသည် doping လုပ်ငန်းစဉ်ကို အကျိုးသက်ရောက်စေပါသည်။monocrystalline ဆီလီကွန်လစ်လပ်နေသောအရေအတွက်၏ လုပ်ဆောင်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။ အပိုအက်တမ်တစ်ခုသည် သာမန်ရာဇမတ်ကွက်များကြားတွင် နေရာယူသည့်အခါ ကြားညှပ်ချို့ယွင်းချက် ဖြစ်ပေါ်သည်။ ကြားခံချို့ယွင်းချက်နှင့် လစ်လပ်နေရာသည် ကပ်လျက်ရှိနေသောအခါတွင် Frenkel ချို့ယွင်းချက် ဖြစ်ပေါ်လာသည်။

ကွက်လပ်များအတွင်း ဂျီဩမေတြီချို့ယွင်းချက်များ၊ ပုံဆောင်ခဲဆွဲခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာနိုင်သည်။ ကာလအတွင်းwaferထုတ်လုပ်မှု၊ အရွေ့အပြောင်းများသည် မညီမညာသော အပူပေးခြင်း သို့မဟုတ် အအေးပေးခြင်းကဲ့သို့သော အလွန်အကျွံစက်ပိုင်းဆိုင်ရာဖိအားများနှင့် ဆက်စပ်နေပါသည်။ ပုံ 6 သည် dislocation ချို့ယွင်းချက်နှစ်ခု၏ဥပမာများကိုပြသထားသည်။

ပုံ 6- Silicon Crystal ၏ Dislocation Diagram

ထရန်စစ္စတာများနှင့် အခြားသော မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ် အစိတ်အပိုင်းများကို ဤမျက်နှာပြင်တွင် ဖန်တီးထားသောကြောင့် wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ချို့ယွင်းချက်များနှင့် အရွေ့အပြောင်းများ၏ သိပ်သည်းဆသည် အနည်းငယ်သာ ဖြစ်ရပါမည်။ ဆီလီကွန်ရှိ မျက်နှာပြင် ချို့ယွင်းချက်များသည် အီလက်ထရွန်များကို ပြန့်ကျဲစေကာ ခုခံနိုင်စွမ်းကို တိုးမြင့်စေပြီး အစိတ်အပိုင်းများ၏ စွမ်းဆောင်ရည်ကို ထိခိုက်စေပါသည်။ ချို့ယွင်းချက်များ ၊waferမျက်နှာပြင်သည် ပေါင်းစပ် circuit ချစ်ပ်များ၏ အထွက်နှုန်းကို လျော့ကျစေသည်။ ချို့ယွင်းချက်တစ်ခုစီတွင် ချိတ်ဆွဲထားသော ဆီလီကွန်နှောင်ကြိုးအချို့ပါရှိပြီး အညစ်အကြေးအက်တမ်များကို ပိတ်ဆို့ကာ ၎င်းတို့၏လှုပ်ရှားမှုကို တားဆီးပေးသည်။ wafer ၏နောက်ကျောတွင် ရည်ရွယ်ချက်ရှိရှိ ချို့ယွင်းချက်များအား အတွင်းမှ ညစ်ညမ်းမှုများကို ဖမ်းယူရန် ဖန်တီးထားသည်။waferဤမိုဘိုင်းအညစ်အကြေးများသည် မိုက်ခရိုအီလက်ထရွန်းနစ်အစိတ်အပိုင်းများ၏ ပုံမှန်လည်ပတ်မှုကို ထိခိုက်ခြင်းမှ ကာကွယ်ပေးသည်။**

ကျွန်ုပ်တို့သည် Semicorex မှ ထုတ်လုပ်ပြီး ပံ့ပိုးပေးပါသည်။monocrystalline ဆီလီကွန် wafers နှင့် အခြား wafer အမျိုးအစားများဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေးတွင် အသုံးချရန်၊ သင့်တွင် စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများ သို့မဟုတ် နောက်ထပ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ လိုအပ်ပါက၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ရန် တုံ့ဆိုင်းမနေပါနှင့်။

ဆက်သွယ်ရန်ဖုန်း: +86-13567891907

အီးမေးလ်- sales@semicorex.com