SiC Boats နှင့် Quartz Boats- Semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် လက်ရှိအသုံးပြုမှုနှင့် အနာဂတ်လမ်းကြောင်းများ

1. အစားထိုး ဒိုင်းနမစ်များ-SiC လှေများ Challenging Quartz Boats

နှစ်ခုလုံးSiC နှင့် Quartz လှေများဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်မှုတွင် အလားတူလုပ်ဆောင်ချက်များကို ဆောင်ရွက်ပေးသည်။ သို့သော်၊SiC လှေများ၎င်းတို့၏ ကုန်ကျစရိတ် မြင့်မားသော်လည်း၊ ပိုမိုကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ၎င်းတို့ကို ပိုမိုဆွဲဆောင်မှုရှိသော အစားထိုးရွေးချယ်မှုတစ်ခု ဖြစ်လာစေသည်။Quartz လှေများအထူးသဖြင့် Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) နှင့် boron diffusion furnace များ ကဲ့သို့သော ဆိုလာဆဲလ် ပြုပြင်ရေး ကိရိယာ များ တောင်းဆိုနေပါသည်။ ဝယ်လိုအားနည်းပါးသော လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ ပစ္စည်းနှစ်မျိုးလုံးသည် စျေးနှုန်းသည် ထုတ်လုပ်သူများအတွက် အဓိကအဆုံးအဖြတ်ပေးသည့်အချက်ဖြစ်သဖြင့် ပစ္စည်းနှစ်မျိုးလုံးသည် အတူယှဉ်တွဲတည်ရှိနေပါသည်။

(၁) LPCVD နှင့် Boron Diffusion Furnaces များတွင် အစားထိုးခြင်း။

LPCVD သည် ဥမင်လှိုဏ်ခေါင်းအောက်ဆိုဒ်အလွှာများဖန်တီးရန်နှင့် polysilicon အလွှာများကို ဆိုလာဆဲလ်များပေါ်တွင် အပ်နှံရန်အတွက် အရေးကြီးပါသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင် သင်္ဘောများသည် ၎င်းတို့၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဆီလီကွန်များ စိမ့်ဝင်မှုဒဏ်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသော မြင့်မားသော အပူချိန်များ ပါဝင်ပါသည်။Quartzဆီလီကွန်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ၎င်း၏ သိသိသာသာခြားနားသော အပူချိန် ချဲ့ထွင်မှုကိန်းဂဏန်းဖြင့်၊ ဤအနည်အနှစ်များကို ဖယ်ရှားရန်နှင့် ကွဲအက်ခြင်းမှ ကာကွယ်ရန် ပုံမှန် အက်ဆစ်သန့်စင်မှု လိုအပ်ပါသည်။ အဲဒီလို မကြာခဏ သန့်ရှင်းရေးလုပ်ပါ။quartzအပူချိန်နိမ့်နိမ့်သည် သက်တမ်းတိုတောင်းပြီး လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ်ကို တိုးစေသည်။

SiC လှေများအခြားတစ်ဖက်တွင်၊ ဆီလီကွန်နှင့် နီးစပ်သော အပူချဲ့ကိန်းကို ပိုင်ဆိုင်ပြီး အက်ဆစ်သန့်စင်မှု လိုအပ်မှုကို ဖယ်ရှားပေးသည်။ ၎င်းတို့၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော အပူချိန်မြင့်မားသော စွမ်းအားသည် သက်တမ်းပိုရှည်စေရန် အထောက်အကူဖြစ်စေပြီး ၎င်းတို့အတွက် စံပြအစားထိုးအဖြစ် ပြုလုပ်ပေးသည်။quartzLPCVD လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်။

ဘိုရွန်ပျံ့သည့်မီးဖိုများကို N-type ဆီလီကွန်ဝေဖာများတွင် P-type emitter ဖန်တီးရန် ဘိုရွန်နှင့် ရော၍ အသုံးပြုသည်။ ဤလုပ်ငန်းစဉ်တွင် ပါဝင်သော မြင့်မားသော အပူချိန်များသည်လည်း စိန်ခေါ်မှုတစ်ရပ် ဖြစ်စေသည်။Quartz လှေများ၎င်းတို့၏ အပူချိန် နိမ့်ကျမှုကြောင့် ဖြစ်သည်။ တဖန်၊SiC လှေများသင့်လျော်သော အစားထိုးမှုအဖြစ် ပေါ်ထွက်လာပြီး ဤတောင်းဆိုနေသော အခြေအနေများတွင် သိသိသာသာ ပိုမိုကြာရှည်ခံမှုကို ပေးဆောင်သည်။

(၂) အခြားလုပ်ငန်းသုံး ပစ္စည်းများတွင် အစားထိုးခြင်း။

နေစဉ်SiC က ကြွားဝါပါတယ်။စွမ်းဆောင်ရည် သာလွန်၍ ၎င်း၏ ကုန်ကျစရိတ်နှင့် နှိုင်းယှဉ်ပါက ပိုမိုမြင့်မားသည်။quartzပစ္စည်းနှစ်ခုကြားရှိ သက်တမ်းကွာခြားချက်မှာ သိသာထင်ရှားမှုမရှိသော တောင်းဆိုမှုနည်းသော လျှောက်လွှာများတွင် ၎င်း၏မွေးစားခြင်းကို ကန့်သတ်ထားသည်။ ထုတ်လုပ်သူများသည် ၎င်းတို့၏ရွေးချယ်မှုပြုလုပ်သည့်အခါ စျေးနှုန်း-စွမ်းဆောင်ရည်အပေးအယူကို ချိန်ဆလေ့ရှိသည်။ သို့သော် ထုတ်လုပ်မှုစရိတ်စက အတိုင်းပင်SiC လှေများကျဆင်းခြင်းနှင့် ၎င်းတို့၏ စျေးကွက်ရရှိနိုင်မှု ပိုမိုကောင်းမွန်လာကာ ၎င်းတို့သည် ပိုမိုပြင်းထန်သော ပြိုင်ဆိုင်မှုကို ဖြစ်ပေါ်စေရန် မျှော်လင့်ထားပြီး လွှမ်းမိုးချုပ်ကိုင်မှုကို ပိုမိုစိန်ခေါ်နိုင်သည့် စျေးနှုန်းချိန်ညှိမှုများကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။Quartz လှေများ.

2. လက်ရှိအသုံးပြုမှုနှုန်းများ-SiC လှေများမြေရရှိခြင်း။

Passivated Emitter and Rear Cell (PERC) နည်းပညာ၏ အခြေအနေတွင်၊ ရှေ့ဘက်ခြမ်း ဖော့စဖရပ် ပျံ့နှံ့မှုနှင့် လိမ်းကျံနေစဉ် လှေများကို အဓိက အသုံးပြုသည်။ Tunnel Oxide Passivated Contact (TOPCon) နည်းပညာသည် အရှေ့ဘက်ခြမ်း ဘိုရွန်ပျံ့နှံ့မှု၊ LPCVD၊ နောက်ဘက်ခြမ်းတွင် ဖော့စဖရပ်ပျံ့နှံ့မှုနှင့် လိမ်းကျံခြင်းအတွက် လှေများ လိုအပ်သည်။

လောလောဆယ်၊SiC လှေများTOPCon ထုတ်လုပ်မှု၏ LPCVD အဆင့်တွင် အဓိကအားဖြင့် အသုံးပြုကြသည်။ ၎င်းတို့၏ ဘိုရွန်ပျံ့ပွားမှုတွင် ၎င်းတို့၏ အသုံးချမှုသည် ဆွဲငင်အားရရှိပြီး ကနဦးစစ်ဆေးချက်များအား အောင်မြင်ခဲ့သော်လည်း ဆိုလာဆဲလ်ပြုပြင်ခြင်းလုပ်ငန်းတွင် ၎င်းတို့၏ အလုံးစုံသော မွေးစားနှုန်းသည် နည်းပါးနေသေးသည်။

3. အနာဂတ်ရေစီးကြောင်းများ- SiC သည် တိုးတက်မှုအတွက် အသင့်ဖြစ်နေပြီဖြစ်သည်။

အချက်များစွာသည် အလားအလာရှိသော အနာဂတ်ကို ဦးတည်သည်။SiC လှေများသူတို့ရဲ့စျေးကွက်ဝေစုနှင့်အတူသိသိသာသာတိုးလာရန်မျှော်လင့်ထားသည်။ ဤအချက်များ ပါဝင်သည်-

သာလွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်- SiC ၏မွေးရာပါပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများ အထူးသဖြင့် LPCVD နှင့် boron diffusion ကဲ့သို့သော အပူချိန်မြင့်မားသောအပလီကေးရှင်းများတွင်၊ quartz ထက် ပြတ်သားသောအားသာချက်ကို ပေးစွမ်းပြီး သက်တမ်းပိုရှည်စေရန်နှင့် လုပ်ငန်းလည်ပတ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးသည်။

ကုန်ကျစရိတ်လျှော့ချရေးအတွက် စက်မှုလုပ်ငန်းတွန်းအားပေးမှု- photovoltaic စက်မှုလုပ်ငန်းသည် ကုန်ကျစရိတ်လျှော့ချရေးနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်မြှင့်တင်မှုများအတွက် အဆက်မပြတ်ကြိုးစားနေပါသည်။ ကြီးမားသော wafer အရွယ်အစားများသည် ဤပန်းတိုင်များကိုအောင်မြင်ရန် နည်းလမ်းတစ်ခုအဖြစ် ပို၍ရေပန်းစားလာပါသည်။ ဤအခြေအနေတွင်၊ SiC လှေများ၏ သာလွန်သောစွမ်းဆောင်ရည်နှင့် တာရှည်ခံမှုသည် ပို၍ပင်တန်ဖိုးရှိလာပါသည်။

ကြီးထွားလာနေသော ဝယ်လိုအား- နေရောင်ခြည်စွမ်းအင်ကဏ္ဍ ဆက်လက်တိုးချဲ့လာသည်နှင့်အမျှ၊ စွမ်းဆောင်ရည်မြင့်မားပြီး ယုံကြည်စိတ်ချရသော အစိတ်အပိုင်းများကဲ့သို့သော စွမ်းဆောင်ရည်မြင့် ဝယ်လိုအား၊SiC လှေများမလွဲမသွေ တက်လာမယ်။

ကြီးထွားလာနေသော ဝယ်လိုအားကို ဖြည့်ဆည်းရန်နှင့် တသမတ်တည်း အရည်အသွေးကို သေချာစေရန် ထုတ်လုပ်မှုကို ချဲ့ထွင်ရန် အပါအဝင် စိန်ခေါ်မှုများ ရှိနေဆဲဖြစ်သည်။SiC လှေများဆီမီးကွန်ဒတ်တာစက်မှုလုပ်ငန်းတွင် တောက်ပနေပါသည်။ ၎င်းတို့၏ သာလွန်ကောင်းမွန်သော စွမ်းဆောင်ရည်သည် ကုန်ကျစရိတ်သက်သာသော ဖြေရှင်းချက်များအတွက် စက်မှုလုပ်ငန်း၏ မောင်းနှင်အားနှင့် ပေါင်းစပ်ကာ ၎င်းတို့အား ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်မှု၏ မျိုးဆက်သစ်များအတွက် အဓိကလုပ်ဆောင်ပေးသူအဖြစ် နေရာယူထားသည်။