Semiconductor Wafer Cleaning ဆိုတာ ဘာလဲ။

Wafer သန့်ရှင်းရေး ဆိုသည်မှာ ဓာတ်တိုးခြင်း၊ photolithography၊ epitaxy၊ ပျံ့နှံ့ခြင်းနှင့် ဝါယာအငွေ့ပျံခြင်းကဲ့သို့သော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း လုပ်ငန်းစဉ်များမတိုင်မီ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ သို့မဟုတ် ဓာတုနည်းလမ်းများကို အသုံးပြု၍ ဝေဖာမျက်နှာပြင်မှ သဘာဝအောက်ဆိုဒ်အလွှာများကို ဖယ်ရှားခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို ရည်ညွှန်းသည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ရေးတွင်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ စက်ပစ္စည်းများ၏ အထွက်နှုန်းသည် သန့်ရှင်းမှုပေါ်တွင် များစွာမူတည်သည်။semiconductor waferမျက်နှာပြင်။ ထို့ကြောင့်၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက် လိုအပ်သော သန့်ရှင်းမှုရရှိရန်၊ တင်းကျပ်သော wafer သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်များသည် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

wafer သန့်ရှင်းရေးအတွက် ပင်မနည်းပညာများ

1. အခြောက်ခံ သန့်ရှင်းရေးပလာစမာ သန့်ရှင်းရေးနည်းပညာ၊ အငွေ့အဆင့် သန့်ရှင်းရေးနည်းပညာ။

2. စိုစွတ်သော ဓာတုသန့်စင်မှုဖြေရှင်းချက်နှစ်မြှုပ်ခြင်းနည်းလမ်း၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ပွတ်တိုက်နည်း၊ ultrasonic သန့်ရှင်းရေးနည်းပညာ၊ megasonic သန့်ရှင်းရေးနည်းပညာ၊ rotary spray နည်းလမ်း။

3. Beam သန့်ရှင်းရေးMicro-beam သန့်ရှင်းရေးနည်းပညာ၊ လေဆာရောင်ခြည်နည်းပညာ၊ condensation spray နည်းပညာ။

ညစ်ညမ်းမှု အမျိုးအစား ခွဲခြားခြင်း သည် အရင်းအမြစ် အမျိုးမျိုးမှ ဆင်းသက်လာပြီး ၎င်းတို့၏ ဂုဏ်သတ္တိများ အရ အောက်ပါ အမျိုးအစား လေးမျိုး တွင် အမျိုးအစား ခွဲခြား လေ့ ရှိသည်။

1.Particulate contaminants များ

အမှုန်အမွှားများသည် အဓိကအားဖြင့် ပိုလီမာများ၊ ဖိုထရစ္စမတ်များနှင့် ခြစ်ထုတ်သည့် အညစ်အကြေးများ ပါဝင်သည်။ ဤညစ်ညမ်းပစ္စည်းများသည် များသောအားဖြင့် ဓာတ်ပုံလီသရိုက်ပုံသဏ္ဍာန်ချို့ယွင်းမှု၊ ထွင်းထုပိတ်ဆို့ခြင်း၊ ပါးလွှာသောဖလင်အပေါက်များနှင့် ဆားကစ်တိုများကဲ့သို့သော ပြဿနာများဖြစ်စေသည့် semiconductor wafers ၏မျက်နှာပြင်တွင် တွယ်ကပ်နေတတ်သည်။ ၎င်းတို့၏ adhesion force သည် အဓိကအားဖြင့် van der Waals ဆွဲဆောင်မှုဖြစ်ပြီး အမှုန်များနှင့် wafer မျက်နှာပြင်ကြားရှိ electrostatic adsorption ကို ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာစွမ်းအားများ (ဥပမာ ultrasonic cavitation) သို့မဟုတ် ဓာတုဗေဒဖြေရှင်းနည်းများ (ဥပမာ SC-1 ကဲ့သို့) သုံးပြီး ချေဖျက်နိုင်သည်။

2.Organic contaminants များ

အော်ဂဲနစ်ညစ်ညမ်းမှုများသည် အဓိကအားဖြင့် လူ၏အရေပြားဆီများ၊ သန့်စင်ခန်းလေ၊ စက်ဆီ၊ ဆီလီကွန်ဖုန်စုပ်ဆီ၊ ဓါတ်ရောင်ခြည်နှင့် သန့်စင်သောအရည်များမှ လာပါသည်။ ၎င်းတို့သည် မျက်နှာပြင်ရေအားလျှပ်စစ်ဖြစ်မှုကို ပြောင်းလဲစေကာ မျက်နှာပြင်ကြမ်းတမ်းမှုကို တိုးမြှင့်ကာ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ wafers များ၏ မျက်နှာပြင်ကို မှိုတက်စေကာ၊ ထို့ကြောင့် epitaxial အလွှာကြီးထွားမှုနှင့် ပါးလွှာသောဖလင်များ စုပုံမှုတူညီမှုကို ထိခိုက်စေနိုင်သည်။ ဤအကြောင်းကြောင့်၊ အော်ဂဲနစ်ညစ်ညမ်းမှုကို သန့်စင်ခြင်းသည် အများအားဖြင့် ဩဂဲနစ်ညစ်ညမ်းမှုကို ထိရောက်စွာ ချေဖျက်ရန်နှင့် ဖယ်ရှားရန် ပြင်းထန်သော ဓာတ်တိုးဆန့်ကျင်ပစ္စည်းများ (ဥပမာ၊ ဆာလဖူရစ်အက်ဆစ်/ ဟိုက်ဒရိုဂျင်ပါအောက်ဆိုဒ်အရောအနှော၊ SPM) တစ်ခုလုံးကို wafer သန့်ရှင်းရေးအစီအစဉ်၏ ပထမအဆင့်အနေဖြင့် လုပ်ဆောင်လေ့ရှိပါသည်။

၃။သတ္တုညစ်ညမ်းမှု

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်၊ Na, Fe, Ni, Cu, Zn ကဲ့သို့သော သတ္တုညစ်ညမ်းမှုများ (ဥပမာ Na, Fe, Ni, Cu, Zn စသည်တို့) သည် ဓာတုပစ္စည်းများ၊ စက်အစိတ်အပိုင်းများ ဝတ်ဆင်ခြင်းနှင့် ပတ်ဝန်းကျင် ဖုန်မှုန့်များသည် အက်တမ်၊ အိုင်ယွန် သို့မဟုတ် အမှုန်အမွှားပုံစံဖြင့် wafer မျက်နှာပြင်တွင် တွယ်ကပ်နေပါသည်။ ၎င်းတို့သည် ယိုစိမ့်နေသော လျှပ်စီးကြောင်း၊ အတိုင်းအတာဗို့အား ပျံ့လွင့်ခြင်းနှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ကိရိယာများတွင် သယ်ဆောင်သည့် သက်တမ်းကို တိုတောင်းစေကာ ချစ်ပ်များ၏ စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် အထွက်နှုန်းကို ပြင်းထန်စွာ ထိခိုက်စေခြင်းကဲ့သို့သော ပြဿနာများကို ဖြစ်ပေါ်စေနိုင်သည်။ ဤသတ္တုအမျိုးအစားသည် ဟိုက်ဒရိုကလိုရစ်အက်ဆစ် သို့မဟုတ် ဟိုက်ဒရိုဂျင်ပါအောက်ဆိုဒ် (SC-2) ရောနှောခြင်းဖြင့် ထိရောက်စွာဖယ်ရှားနိုင်သည်။

4.Natural oxide အလွှာများ

wafer မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ သဘာဝအောက်ဆိုဒ်အလွှာများသည် သတ္တုအစစ်များထွက်ခြင်းကို ဟန့်တားနိုင်ပြီး ထိတွေ့မှုကို ခံနိုင်ရည်တိုးလာစေကာ etching uniformity နှင့် depth control ကို ထိခိုက်စေပြီး ion implantation ၏ doping ဖြန့်ဖြူးမှုကို အနှောင့်အယှက်ဖြစ်စေပါသည်။ HF etching (DHF သို့မဟုတ် BHF) ကို နောက်ဆက်တွဲ လုပ်ငန်းစဉ်များတွင် မျက်နှာပြင် ခိုင်မာမှုကို လုံခြုံစေရန် အောက်ဆိုဒ်ကို ဖယ်ရှားရန်အတွက် အများအားဖြင့် လက်ခံကျင့်သုံးပါသည်။

Semicorex သည် အရည်အသွေးမြင့်မှုကို ပေးသည်။Quartz သန့်ရှင်းရေးကန်များဓာတုအစိုသန့်ရှင်းရေးအတွက်။ သင့်တွင် စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများ သို့မဟုတ် နောက်ထပ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ လိုအပ်ပါက၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ရန် တုံ့ဆိုင်းမနေပါနှင့်။

ဖုန်း # +86-13567891907 သို့ ဆက်သွယ်နိုင်ပါသည်။

အီးမေးလ်- sales@semicorex.com