ခြောက်သွေ့သော etching အတွက်အဓိက parameters တွေကို

ခြောက်သွေ့သောစွဲမှုသည် Micro-Electro-Schoicical Systems ၏ကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များတွင်အဓိကနည်းပညာဖြစ်သည်။ ခြောက်သွေ့သောစွဲကပ်မှု၏စွမ်းဆောင်ရည်သည်စက်တည်ချက်ဆိုင်ရာပစ္စည်းများ၏ဖွဲ့စည်းတည်ဆောက်ပုံဆိုင်ရာတိကျမှုနှင့်လည်ပတ်မှုစွမ်းဆောင်ရည်အပေါ်တိုက်ရိုက်သွဇာလွှမ်းမိုးမှုရှိသည်။ အဆိုပါ actloing လုပ်ငန်းစဉ်ကိုအတိအကျထိန်းချုပ်ရန်, အောက်ပါအဓိကအကဲဖြတ်သုံးသပ်ချက်များအတွက်အနီးကပ်အာရုံစူးစိုက်မှုကိုပေးဆောင်ရပါမည်။

1

စွဲမှုနှုန်းသည်တစ်ယူနစ်အချိန်နှုန်းထားယူထားသောပစ္စည်းအထူ (ယူနစ် - NM / Min သို့မဟုတ်μm / min) ကိုရည်ညွှန်းသည်။ ၎င်း၏တန်ဖိုးသည်ရိုးရှင်းသောထိရောက်မှုကိုတိုက်ရိုက်သက်ရောက်သည်။ သတိပြုသင့်သည်မှာပစ္စည်း parameters များ, ပစ္စည်းဂုဏ်သတ္တိများနှင့် actching area ရိယာအားလုံးသည်စွဲလမ်းမှုနှုန်းကိုသွဇာနည်းအောင်လွှမ်းမိုးမှုရှိသည်ဟုမှတ်ချက်ပြုသင့်သည်။

2

Substraction Selectraction နှင့် Mask Selection သည်သွေ့ခြောက်ခြင်းဆဲသွင်ပြင်လက်ခဏာအမျိုးအစားနှစ်မျိုးဖြစ်သည်။ အကောင်းဆုံးကတော့မျက်နှာဖုံးရွေးချယ်ခြင်းနှင့်အလွှာရွေးချယ်မှုနိမ့်ကျသောဓာတ်ငွေ့ကိုရွေးချယ်ခြင်းနှင့်အနိမ့်ပိုင်းဆိုင်ရာ selection ကိုရွေးချယ်သင့်သည်,

3.uniformity

အတွင်း၌ 0 ယ်ယူသူတစ် ဦး သည်တူညီသောနေရာများတွင်တူညီသောနေရာများတွင်ကွဲပြားခြားနားသောနေရာများတွင်တူညီသောနေရာများတွင်ညီမျှမှုနှင့်သက်ဆိုင်သည်။ Wafer-to-Wafer ယူနီဖောင်းသည်အသုတ် -to- အသုတ်တိကျမှန်ကန်မှုအတက်အကျဖြစ်စေနိုင်သောမတူညီသော wafers များအကြားနှုန်းရှေ့နောက်ညီညွတ်မှုကိုရည်ညွှန်းသည်။

4.critical dimension

အရေးပါသောရှုထောင့်သည်လိုင်းအကျယ်, တုတ်ကျင်းအဖုံးနှင့်အပေါက်ချင်းစီကဲ့သို့သော microstructures ၏ဂျီနြိတုပအမတ်များကိုရည်ညွှန်းသည်။

5.Aspect အချိုးအစား

ရှုထောင့်အချိုးအစားအမည်အရအတိမ်အနက်ကိုအနိမ့်အမြင့်အတိမ်အနက်အချိုးအစားသည်အချိုးအစားဖြစ်သည်။ ရှုထောင့်အချိုးအစားသည် 3D devices များအတွက်အဓိကလိုအပ်ချက်တစ်ခုဖြစ်သည်။

6

ကျော်ဖြတ်ခြင်း, undercut နှင့်ဘေးချင်းကပ်ခြင်းတို့ကဲ့သို့ပျက်စီးဆုံးရှုံးမှုများသည်ရှုထောင့်၏တိကျမှန်ကန်မှုကိုလျော့နည်းစေနိုင်သည်

ဆက်သွယ်ရန်ဖုန်း: + 86-135677891907

တင်ဆောင်လာသောအကျိုးသက်ရောက်မှုသည်ဖြစ်စဉ်ကိုရည်ညွှန်းသည်။ တနည်းအားဖြင့်ကွဲပြားခြားနားသောစွဲ areas ရိယာသို့မဟုတ် linewidths သည်နှုန်းသို့မဟုတ် shape သုက်ပိုးပုံသဏ္ဌာန်ကွဲပြားခြားနားမှုများကိုဖြစ်ပေါ်စေလိမ့်မည်။

semicorex အတွက်အထူးပြုSIC coatedနှင့်tac coatedsemiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှုရှိလုပ်ငန်းစဉ်များရှိလုပ်ငန်းစဉ်များရှိသည့်လုပ်ငန်းစဉ်များတွင်ဇယားဆိုင်ရာဖြေရှင်းနည်းများသည်သင့်တွင်မေးမြန်းစုံစမ်းမှုများရှိပါကအသေးစိတ်အချက်အလက်များလိုအပ်ပါကကျွန်ုပ်တို့နှင့်ဆက်သွယ်ရန်မတွန့်ဆုတ်ပါနှင့်။

ဆက်သွယ်ရန်ဖုန်း: + 86-135677891907

အီးမေးလ်: Sales@semicex.com