ခြောက်သွေ့သော etching များအတွက်ဆီလီကွန်အစိတ်အပိုင်းများ

ခြောက်သွေ့သော etching actching actching များအတွက်စိုစွတ်သောဓာတုပစ္စည်းများမရှိပါ။ ၎င်းသည်အဓိကအားဖြင့်လျှပ်ကူးပစ္စည်းသေးငယ်သောအပေါက်များဖြင့်အထက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းမှတဆင့်အဖုံးများထဲမှ gasterous etchant ကိုအဓိကအားဖြင့်စတင်မိတ်ဆက်သည်။ အနိမ့်နှင့်အောက်ပိုင်းလျှပ်စက်များမှထုတ်ပေးသောလျှပ်စစ်နယ်ပယ်သည်ပိုမိုဆိုးရှားလှသောစွဲလမ်းမှုများကိုအစပြုသည်။ ထို့နောက်မတည်ငြိမ်သောအရာဝတ်ထုများကိုတုန့်ပြန်မှုအခန်းမှထုတ်ယူခြင်း,

ခြောက်သွေ့သောစွဲလမ်းမှုသည်အဓိကအားဖြင့်အဓိကအားဖြင့်ဖြစ်စဉ်အခန်းအတွင်း၌ဖြစ်ပျက်သည်ဆီလီကွန်အစိတ်အပိုင်းများဆီလီကွန်ဟိန်းစေးလက်စွပ်တစ်ခုအပါအ 0 င်ဆီလီကွန်အပြင်ဘက်လက်စွပ်, ဆီလီကွန် Sketerbhead, ဆီလီကွန်အာရုံဆိုင်လက်စွပ်နှင့်ဆီလီကွန်ဒိုင်းလက်စွပ်တစ်ခု။

ခြောက်သွေ့သောခန်းမတစ်ခုတွင်ဆီလီကွန်သည်ဆီလီကွန်အာရုံစိုက်သည့်လက်စွပ်တစ်ခုအတွင်းတွင်ဆီလီကွန် wafer ကိုပုံမှန်အားဖြင့်ထားရှိနိုင်သည်။ ဤပေါင်းစပ်မှုသည်စွဲလမ်းမှုအောက်တွင်ထားရှိသောအပြုသဘောဆောင်သောလျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖြစ်ဆောင်ရွက်သည်။ အခန်းအထက်အထက်တွင်တည်ရှိသောအလယ်အလတ်ထုပ်ပိုးထားသောသေးငယ်သောအပေါက်များနှင့်အတူဆီလီကွန် disk သည်အပျက်သဘောဆောင်သောလျှပ်ကူးပစ္စည်းအဖြစ်ဆောင်ရွက်သည်။ ဆီလီကွန်အပြင်ဘက်လက်စွပ်သည်အထက်လျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့်အခြားဆက်စပ်အစိတ်အပိုင်းများကိုထောက်ပံ့သည်။ အထက်နှင့်အောက်ပိုင်းလျှပ်ရောင်များသည်ပလာစမာနှင့်တိုက်ရိုက်ဆက်သွယ်မှုရှိသည်။ Plasma သည်ဆီလီကွန်ယက်ကိုစွဲမှတ်ထားသည့်အခါ၎င်းသည်ဆီလီကွန်အီလက်ထရောနစ်များကိုအနိမ့်ဆုံးနှင့်အောက်ပိုင်းနှင့်အနိမ့်အနိမ့်ဆုံးကိုရှောင်ကြဉ်သည်။ အနိမ့်လျှပ်ကူးပစ္စည်း (အာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ်) တဖြည်းဖြည်း actlocing လုပ်ငန်းစဉ်အတွင်း thins, အထူအထူတစ် ဦး အဆင့်ကိုရောက်ရှိသည့်အခါအစားထိုးလိုအပ်ပါတယ်။ ထို့အပြင်အထက်လျှပ်ကူးပစ္စည်း (showerhead) တွင်တစ်ပုံစံတည်းဖြန့်ဖြူးထားသောအပေါက်များကို Plasma ကဖောက်ထွင်းထားသည်။ ဤကွဲပြားခြားနားမှုများသည်အချို့သောအဆင့်သို့ရောက်သောအခါ၎င်းတို့ကိုအစားထိုးရန်လိုအပ်သည်။ ပုံမှန်အားဖြင့်အစားထိုးသံသရာကို 2-4 ပတ်သုံးကြိမ်တိုင်းအသုံးပြုရန်လိုအပ်သည်။

ဤအပိုင်းသည်ဆီလီကွန်အာရုံစူးစိုက်မှုလက်စွပ် (အောက်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း) ၏အခန်းကဏ် member ကိုအထူးရှင်းပြသည်။ ၎င်းသည် Plasma Sheath ၏အထူကိုထိန်းချုပ်ထားပြီးအိုင်းယွန်းဗုံးကြဲမှုများကိုပိုမိုကောင်းမွန်စေရန်ဖြစ်သည်။ ပလာစမာနှင့်သင်္ဘောနံရံအကြားကြားနေ Non-non-non-non-non-non-non-non-non-feat မောင်နှံသည်ပလာစမာအတွင်းအရေးပါသောနှင့်ထူးခြားသောဒေသဖြစ်သည်။ ပလာစမာတွင်အပေါင်း ions နှင့် electron တို့၏တူညီသောနံပါတ်များပါဝင်သည်။ အီလက်ထရွန်များသည်အိုင်းယွန်းများထက်ပိုမိုမြန်ဆန်သောကြောင့်သူတို့သည်သင်္ဘောနံရံကို ဦး စွာရောက်ရှိခဲ့သည်။ ပလာစမာသည်သင်္ဘောနံရံတွင်ဆွေမျိုးအားအပြုသဘောဖြင့်စွဲချက်တင်ထားသည်။ အိမ်တွင် Electric Field သည် Plasma (အပြုသဘောဆောင်သောအနုတ်လက်ခဏာဆောင်သောဆွဲဆောင်မှု) တွင်အိုင်းယွန်းများ (အပြုသဘောဆောင်သောအနုတ်လက်ခဏာ) အတွင်းရှိအိုင်းယွန်းများကိုအရှိန်မြှင့်သည်။ ဤစွမ်းအင်မြင့်မားသော ion flux သည်အပေါ်ယံပိုင်း, စွဲလမ်းမှု,

အဆိုပါ wafer ၏ impedance ၏ impedance plasma အိမ်မှအထူ (imasma feats ၏အထူ (အဟန့်အတား, အချောကိုထူ) ။ Wafer ၏ဗဟိုတွင်အဟန့်အတားသည်အစွန်းတွင်ကွဲပြားခြားနားသည်။ ဤသည်မညီမညာဖြစ်နေသောပလာစမာအိမ်မှအိုင်းယွန်းများကိုအရှိန်မြှင့်သည်။ ထို့ကြောင့် Plasma Sheath Fath အထူကိုထိန်းချုပ်ရန်အတွက်အာရုံစူးစိုက်သောလက်စွပ်တစ်ခုလိုအပ်ပြီး,

Wafer ပတ် 0 န်းကျင်အာရုံစူးစိုက်မှုအနေဖြင့် Quartz သည်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့်အတူမြင့်မားသောသတ္တုညစ်ညမ်းမှုနိမ့်ကျခြင်းကိုရရှိရန်အကောင်းဆုံးဖြစ်သော်လည်း၎င်းသည်ဖလိုရိုက်ဓာတ်ငွေ့ပလာစမာတွင်လျင်မြန်စွာပြောင်းလဲခြင်းကိုရရှိခဲ့သည်။ ၎င်းသည်ကုန်ကျစရိတ်တိုးပွားစေရုံသာမကအစားထိုးခြင်းကြောင့်ပစ္စည်းကိရိယာများကိုလျှော့ချခြင်းကြောင့်လည်းအချိန်ပေးရန်လိုအပ်သည်။ ကြွေထည်သည်လုံလုံလောက်လောက်ကြာရှည်စွာနေထိုင်စဉ်ကာလရှည်ကြာစွာရှိနေသော ion ion ဗုံးကြဲတိုက်ခိုက်မှုနှင့်ထိတွေ့မှုရှိသည်။ Sputered အလူမီနီယမ်သည် Plasma တွင်ဖလိုရင်းရှိဖလိုရင်းနှင့်ဓာတ်ပြုပြီးမတည်ငြိမ်သော fluoride ကဲ့သို့သော (ဥပမာအလူမီနီယမ်ဖလိုရိုက်) ။ အကယ်. ၎င်းကိုဖယ်ရှား။ device surface သို့မဟုတ် photoresist ပေါ်တွင် device surface သို့မဟုတ် photoresist ပေါ်တွင်မသွင်းနိုင်ပါက၎င်းတို့သည်ထုတ်လုပ်ထားသော fluorumes နှင့် Photoresists များကိုနောက်ဆက်တွဲဖယ်ရှားပေးသည်။ သင့်တော်သောပစ္စည်းများသည် Singstal Silicon သို့မဟုတ် Silicon Carbide ဖြစ်သည်။ Singy-crystal silicon သည်စျေးသိပ်မကြီးသော်လည်းစာတုန်းဆန်ကာလက်ထက်ပိုကြီးသော်လည်းအနည်းငယ်ပိုရှည်သည်။ ဤရွေးချယ်မှုနှစ်ခုအကြားအပေးအယူသည်သတ်သတ်မှတ်မှတ်အခြေအနေများပေါ်တွင်မူတည်သည်။ ဥပမာအားဖြင့်, ပစ္စည်းပစ္စယများအသုံးချခြင်းသည်အလွန်အရေးကြီးသည်ဆိုလျှင်ဆီလီကွန်ကာဘက်ကိုအသုံးပြုသင့်သည်။ အကယ်. အစိတ်အပိုင်း၏ 0 တ်စုံနှင့်မျက်ရည်စရိတ်များသည်အလွန်မြင့်မားလွန်းပါက Single-Crystal silicon ကိုအသုံးပြုသင့်သည်။

Semicorex သည်အရည်အသွေးမြင့်မားသည်ဆီလီကွန်အစိတ်အပိုင်းများ။ သင့်တွင်မေးမြန်းစုံစမ်းလိုပါကသို့မဟုတ်နောက်ထပ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များလိုအပ်ပါကကျွန်ုပ်တို့နှင့်ဆက်သွယ်ရန်မတွန့်ဆုတ်ပါနှင့်။

ဆက်သွယ်ရန် # + 86-13567891907 ဆက်သွယ်ရန်

အီးမေးလ်: Sales@semicex.com