pordiation လုပ်ငန်းစဉ်သုံးမျိုးအမျိုးအစားမှနိဒါန်း

oxidation လုပ်ငန်းစဉ်သည် Oxidants များ (အောက်စီဂျင်, ရေငွေ့အဖြစ်) နှင့်ဆီလီကွန်ရှိအပူစွမ်းအင်ကိုထောက်ပံ့ခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကိုရည်ညွှန်းသည်ယက်ဆူများဆီလီကွန်နှင့်အောက်စီဂျင်အကြားဓာတုဓာတ်ပြုမှုကိုဖြစ်ပေါ်စေပြီးအကာအကွယ်ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုက် (Sio₂) ရုပ်ရှင်ကိုဖွဲ့စည်းရန်။

oxidation လုပ်ငန်းစဉ်သုံးမျိုး

1.Dry oxidation:

ခြောက်သွေ့သော oxidation လုပ်ငန်းစဉ်တွင် Wafers များသည်အပူချိန်မြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်ရှိဓာတ်တိုးရန်အတွက်သန့်စင်သောမြင့်မားသောပတ်ဝန်းကျင်တွင်ရှိသည်။ အောက်စီဂျင်မော်လီကျူးများသည်ရေမော်လီကျူးများထက်လေးလံသောကြောင့်အခြောက်ခံခြင်းဓာတ်တိုးသည်နှေးကွေးသည်။ သို့သော်၎င်းသည်ပါးလွှာပြီးအရည်အသွေးမြင့်အောက်ဆိုဒ်များထုတ်လုပ်ခြင်းအတွက်အကျိုးရှိသည်။ ဤဖြစ်စဉ်သည်ဟိုက်ဒရိုဂျင်ကဲ့သို့မလိုလားအပ်သောဘေးထွက်ပစ္စည်းများကိုထုတ်လုပ်ခြင်းမရှိဘဲတစ်သားတည်းဖြစ်တည်ခြင်း, မြင့်မားသောသိပ်သည်းဆSio₂ရုပ်ရှင်ကိုထုတ်လုပ်နိုင်သည်။ MOMFTATE Oxider ကဲ့သို့သောအောက်ဆိုဒ်အောက်ဆိုဒ်များနှင့်အရည်အသွေးကိုအတိအကျထိန်းချုပ်ရန်လိုအပ်သည့်ကိရိယာများတွင်အောက်ဆိုဒ်အမွေများထုတ်လုပ်ရန်သင့်တော်သည်။

2.wet oxidation:

ဆီလီကွန်နှင့်အငြင်းပွားမှုများအကြားဓာတုဗေဒဆိုင်ရာဓာတ်ပြုမှုကိုဖြစ်ပေါ်စေသောအပူချိန်မြင့်သောရေငွေ့များသို့ 0 င်ရောက်ခြင်းကိုဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ဤဖြစ်စဉ်သည်အောက်ဆိုဒ်များကိုယူနီံ့နည်းမှုနည်းခြင်းနှင့်သိပ်သည်းဆနည်းသောအောက်ဆိုဒ်အလွှာများကိုထုတ်လုပ်ပြီးပုံမှန်အားဖြင့်အသုံးမပြုသည့်p₂sကဲ့သို့သောမလိုလားအပ်သောဘေးထွက်ပစ္စည်းများထုတ်လုပ်သည်။ ဘာဖြစ်လို့လဲဆိုတော့ရေငွေ့ဓာတ်ပြုစုခြင်းဟာအောက်စီဂျင်ဓာတ်ပြုမှုထက်ပိုကြီးတဲ့အတွက်အောက်ဆိုဒ်ရဲ့ကြီးထွားမှုနှုန်းကပိုမြန်တယ်။ ထို့ကြောင့်စိုစွတ်သောဓာတ်တိုးများကိုများသောအားဖြင့် semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှု၏အဓိကဖြစ်စဉ်များတွင်အသုံးမပြုပါ။

3. ရိဒ်ဓာတ်တိုးခြင်း:  

အစွန်းရောက်ဓာတ်ငွေ့လုပ်ငန်းစဉ်တွင်ဆီလီကွန်သည်အပူချိန်မြင့်မားပြီးမြင့်မားသောအောက်စီဂျင်အက်တမ်များနှင့်ဟိုက်ဒရိုဂျင်မော်လီကျူးများပေါင်းစပ်ထားသည့်မြင့်မားသောအခမဲ့အစွန်းရှိဓာတ်ငွေ့များကိုပေါင်းစပ်ရန်အပူချိန်မြင့်မားစေသည်။ ဤဓာတ်ငွေ့များသည် siliog film film film form form လုပ်ရန်ဆီလီကွန်ကက်နှင့်အတူတုံ့ပြန်ကြသည်။

ဆီလီကွန်နှင့်အငြင်းပွားမှုများအကြားဓာတုဗေဒဆိုင်ရာဓာတ်ပြုမှုကိုဖြစ်ပေါ်စေသောအပူချိန်မြင့်သောရေငွေ့များသို့ 0 င်ရောက်ခြင်းကိုဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ဤဖြစ်စဉ်သည်အောက်ဆိုဒ်များကိုယူနီံ့နည်းမှုနည်းခြင်းနှင့်သိပ်သည်းဆနည်းသောအောက်ဆိုဒ်အလွှာများကိုထုတ်လုပ်ပြီးပုံမှန်အားဖြင့်အသုံးမပြုသည့်p₂sကဲ့သို့သောမလိုလားအပ်သောဘေးထွက်ပစ္စည်းများထုတ်လုပ်သည်။ ဘာဖြစ်လို့လဲဆိုတော့ရေငွေ့ဓာတ်ပြုစုခြင်းဟာအောက်စီဂျင်ဓာတ်ပြုမှုထက်ပိုကြီးတဲ့အတွက်အောက်ဆိုဒ်ရဲ့ကြီးထွားမှုနှုန်းကပိုမြန်တယ်။ ထို့ကြောင့်စိုစွတ်သောဓာတ်တိုးများကိုများသောအားဖြင့် semiconductor ကုန်ထုတ်လုပ်မှု၏အဓိကဖြစ်စဉ်များတွင်အသုံးမပြုပါ။