SiC Boat ဆိုတာ ဘာလဲ၊ သူ့ရဲ့ အမျိုးမျိုးသော ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ်တွေက ဘာတွေလဲ။

၁။ ကွဲပြားခြားနားသောကုန်ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်များSiC လှေ

(၁) အလွှာကို လိမ်းပါ။SiC ရုပ်ရှင်ဂရပ်ဖိုက်၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်crystal လှေများCVD မှတဆင့်

ဤလှေအမျိုးအစားတွင် ဂရပ်ဖိုက်အူတိုင်ပါရှိပြီး အပိုင်းအစတစ်ခုတွင် စက်ဖြင့်ပြုလုပ်ထားသည်။ သို့သော်၊graphite သည် porous ဖြစ်သည်။နှင့် အမှုန်အမွှားများ ဖြစ်ပေါ်လာရန် လွယ်ကူသော အက်ပလီကေးရှင်းကို လိုအပ်သည်။SiC ရုပ်ရှင်အပေါ်ယံပိုင်း၎င်း၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင်။ ဂရပ်ဖိုက်ကိုယ်ထည်နှင့် အကြားရှိ Coefficient of Thermal Expansion (CTE) တွင် မကိုက်ညီမှုကြောင့်၊SiC ရုပ်ရှင်အမှုန်အမွှားများကို ညစ်ညမ်းစေသော အပူနှင့် အအေးစက်ဝန်း အများအပြားပြီးနောက် အပေါ်ယံအလွှာသည် ကျွတ်ထွက်ဖွယ်ရှိသည်။ ဤလှေများသည် စျေးအနည်းဆုံးဖြစ်ပြီး တစ်နှစ်ခန့် သက်တမ်းရှိသည်။

(၂) အလွှာကို လိမ်းပါ။SiC ရုပ်ရှင်ပြန်လည်ပုံသွင်းထားသည့်အပေါ်SiC ကြည်လင်သောလှေများ

ပြန်လည်ပုံသွင်းထားသည်။SiC လှေများအမှုန်အမွှားများကို အလွယ်တကူ ထုတ်ပေးနိုင်သည်။ ထို့ကြောင့်, တစ်ဦးချင်းစီအစိတ်အပိုင်းများကို rerystallizedSiC လှေများကြိုတင်ဖွဲ့စည်းထားရမည်၊ သန့်စင်ပြီးနောက် သီးခြားစီစက်ပြုလုပ်ရပါမည်။ ထို့နောက် Si paste ကို အသုံးပြု၍ မြင့်မားသော အပူချိန်တွင် အစိတ်အပိုင်းများကို ပေါင်းစပ်ထားသည်။ လှေတစ်စင်းတည်းနဲ့ စုဝေးပြီးတာနဲ့၊SiC ရုပ်ရှင်CVD မှတဆင့်လျှောက်ထားသည်။ ဒါကို ပြန်လည်ပုံသွင်းထားပါတယ်။SiC လှေအရှည်ဆုံး ထုတ်လုပ်မှု လုပ်ငန်းစဉ် ရှိပြီး ငွေကုန်ကြေးကျ များသော်လည်း မျက်နှာပြင် ရှိသည်။CVD အပေါ်ယံပိုင်းသက်တမ်းအားဖြင့် သုံးနှစ်ခန့်အထိ ပျက်စီးနိုင်သည်။

(၃)MonolithicSiC ကြည်လင်သောလှေများ

ဒါတွေလှေများလုံး၀ SiC ပစ္စည်းဖြင့် ဖွဲ့စည်းထားသည်။ SiC အမှုန့်ကို ပုံသွင်းပြီး သင်္ဘောသားပုံသဏ္ဍာန်အဖြစ် ရောမွှေရပါမည်။ အလွန်စျေးကြီးသဖြင့် ၎င်းတို့သည် အလွန်တာရှည်ခံပြီး အမှုန်များကို ထုတ်ပေးနိုင်ချေနည်းပါးပါသည်။ သို့သော်၊ ဤလှေများတွင် ဖလိုရင်းနှင့် ကလိုရင်းတို့ကြောင့် တိုက်စားခံရနိုင်သည့် 10-15% free silicon ပါ၀င်ပြီး အမှုန်အမွှားများကို ညစ်ညမ်းစေပါသည်။

၂။ အဘယ်ကြောင့် အခြောက်ခံသန့်ရှင်းရေးကို အကြံပြုထားသနည်း။

အချုပ်အားဖြင့်ဆိုရသော်SiC လှေများတစ်ဦးနှင့်အတူ coatedCVD မှတဆင့် SiC ရုပ်ရှင်အမှုန်အမွှားများကို ညစ်ညမ်းစေသည့် ခြောက်သွေ့သော သန့်ရှင်းရေးလုပ်စဉ်အတွင်း မျက်နှာပြင်အပေါ်ယံလွှာသည် ကျွတ်ထွက်လွယ်သည်။ monolithic အတွက်SiC လှေများဖလိုရင်း သို့မဟုတ် ကလိုရင်းပါရှိသော ဓာတ်ငွေ့များ နှင့် ထိတွေ့ခြင်း သည် ဆီလီကွန် ပမာဏ အနည်းငယ်သာ ရှိပြီး တိုက်စားခြင်းနှင့် အမှုန်အမွှားများ ဖြစ်ပေါ်လာစေပြီး ညစ်ညမ်းစေပါသည်။**