2023-06-26
လုပ်ဆောင်နေစဉ်အတွင်း၊ semiconductor wafers များကို အထူးပြုမီးဖိုထဲတွင် အပူပေးလေ့ရှိသည်။ ထိုကဲ့သို့သော မီးဖိုများတွင် ပုံမှန်အားဖြင့် ရှည်လျားသော၊ ပါးလွှာသော၊ ဆလင်ဒါပြွန်များ ပါဝင်သည်။ wafers များကို မီးဖိုတွင်းနှင့် ဓာတ်ပေါင်းဖိုများတွင် နေရာချထားပြီး ယင်းတို့ကို မီးဖို သို့မဟုတ် ဓာတ်ပေါင်းဖို၏ စက်ဝိုင်းဖြတ်ပိုင်းဖြင့် သတ်မှတ်ထားသော လေယာဉ်တစ်လျောက်တွင် စီစဥ်ထားပြီး ကြိုတင်သတ်မှတ်ထားသော၊ အများအားဖြင့် အညီအမျှ နေရာလွတ်ထားကာ၊ အလယ်ဝင်ရိုးတစ်လျှောက် အမှတ်အသားများဖြင့် ခြားထားသည်။ မီးဖို သို့မဟုတ် ဓာတ်ပေါင်းဖို။ ဤအနေအထားကိုရရှိစေရန်အတွက် wafer များကို အလယ်ဝင်ရိုးတစ်လျှောက် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေသော wafer boats ဟုခေါ်သော slotted ကိုင်ဆောင်သူများပေါ်တွင် ထားရှိလေ့ရှိပါသည်။
စီမံဆောင်ရွက်ရမည့် ဝေဖာအသုတ်များပါရှိသော လှေငယ်များကို ပြွန်မီးဖိုများနှင့် ဓာတ်ပေါင်းဖိုများ ထည့်သွင်း၍ ထုတ်ယူနိုင်သည့် ရှည်လျားသော cantilever လှော်များပေါ်တွင် ထားရှိထားပါသည်။ ထိုလှော်တက်များသည် အများအားဖြင့် လှေငယ်တစ်စင်း သို့မဟုတ် တစ်ခုထက်ပိုသော လှေငယ်များထားရှိနိုင်သည့် ပြန့်ပြူးသော ကယ်ရီယာအပိုင်းတစ်ခုနှင့် လှော်တက်များကို ကိုင်တွယ်နိုင်သည့် ပြားချပ်ချပ်သယ်ဆောင်သည့်အပိုင်း၏ တစ်ဖက်စွန်းတွင်ရှိသော လက်ကိုင်ရှည်တစ်ခု ပါဝင်ပါသည်။ အသွင်ကူးပြောင်းရေးအပိုင်းကို အများအားဖြင့် လက်ကိုင်နှင့် ဝန်ဆောင်မှုပေးသည့်အပိုင်းကြားတွင် ၎င်းတို့ကို တစ်ခုလုံးဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ထားသည်။ ထို့အပြင်၊ ၎င်းနှင့် wafer သင်္ဘောကို ကိုင်တွယ်နိုင်စေရန် လက်ကိုင်သည် မီးဖို သို့မဟုတ် ဓာတ်ပေါင်းဖိုမှ အပြင်သို့ ဆန့်ထုတ်ရမည်ဖြစ်သည်။
မီးဖိုအတွင်း သို့မဟုတ် ဓာတ်ပေါင်းဖိုအတွင်း wafer သင်္ဘော၏နေရာချထားမှုသည် အရေးကြီးသောကြောင့် wafer တစ်ခုစီ၏ဗဟိုကို မီးဖိုထဲသို့ဝင်ရိုး သို့မဟုတ် ဓာတ်ပေါင်းဖို၏ဗဟိုဝင်ရိုးနှင့်အနီးစပ်ဆုံးနေရာချထားရန် လိုအပ်သောကြောင့်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့်, wafers များကိုသယ်ဆောင်သောသင်္ဘော၏အလေးချိန်ကြောင့်ဖြစ်ပေါ်လာသောလှော်တက်၏ကွေးကိုလှော်ဒီဇိုင်းတွင်ထည့်သွင်းစဉ်းစားရပါမည်, အထူးသဖြင့်, လှော်တက်ကိုမီးဖိုခန်းမှအပေါက်ထွက်သောအဆုံး, ဆိုလိုသည်မှာ, လှေလှော်၏အစွန်းတစ်ဖက်တည်းမှာဖြစ်သောကြောင့်, ဆိုလိုသည်မှာ, မီးဖိုခန်းမှအပေါက်ထွက်သောအဆုံး. လည်ပတ်အလေးချိန်လိုအပ်ချက်များမှ ထွက်ပေါ်လာသော လှော်တက်ဒီဇိုင်းကို ထည့်သွင်းစဉ်းစားသည့်အပြင်၊ လှော်တက်၏ အရှည်ကို အနေအထားတွင် အတိအကျ ထိန်းထားနိုင်စေရန် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော ကုပ်အစုံကိုလည်း အသုံးပြုရမည်ဖြစ်သည်။ အသုံးပြုရလွယ်ကူပြီး ကုပ်နေစဉ်အတွင်း လှော်တက်ကို ထိခိုက်နိုင်ခြေနည်းပါးအောင် ပြုလုပ်ထားစဉ် လှော်တက်ကို အတိအကျ အလိုရှိသော အနေအထားတွင် ထားရှိရန် ဤကုဒ်များသည် အတော်လေး ကြံ့ခိုင်ရပါမည်။
ထို့ကြောင့် ရှိပြီးသား ညှပ်စနစ်များနှင့် တွဲသုံးရန် ကျန်နေချိန်တွင် ပိုမိုလေးလံသော ဝန်ဖြင့် အသုံးပြုနိုင်သည့် cantilever လှော်ကို လိုအပ်ပါသည်။ ၎င်းနှင့်အတူအသုံးပြုနိုင်သည့် အလေးချိန်ဝန်အကွာအဝေးတစ်ခုလုံးတွင် လက်ခံနိုင်လောက်သော လှည့်ကွက်လက္ခဏာများကို ပြသသည့် cantilever လှော်တက်တစ်ခုလည်း လိုအပ်ပါသည်။
အcantilever paddle ကို CVD SiC ပါးလွှာသော အလွှာဖြင့် ပြန်လည်ပုံသွင်းထားသော ဆီလီကွန်ကာဗိုက်ကို အသုံးပြုရန် အကြံပြုထားပြီး၊ ၎င်းသည် သန့်စင်မှုမြင့်မားပြီး ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်ခြင်းတွင် အစိတ်အပိုင်းများအတွက် အကောင်းဆုံးရွေးချယ်မှုဖြစ်သည်။
Semicorex ပေးစွမ်းနိုင်ပါတယ်။အရည်အသွေးမြင့်မားသောcantilever paddlesနှင့်ပုံဆွဲခြင်းနှင့် လုပ်ငန်းခွင်ပတ်ဝန်းကျင်အလိုက် စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှုများ။