Low Temperature Plasma Etching ဆိုတာ ဘာလဲ။

ပလာစမာသည် စတုတ္ထမြောက်ဒြပ်စင်ဖြစ်ပြီး ၎င်းသည် စက်မှုလုပ်ငန်းဆိုင်ရာအသုံးချမှုများနှင့် သဘာဝဖြစ်စဉ်များ နှစ်ခုစလုံးတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်နေသည်။ ဥပမာအားဖြင့်၊ ပလာစမာသည် လျှပ်စီးကြောင်းတွင်ရှိနေပြီး အူတိုင်အပူချိန်သည် အံ့သြဖွယ်ကောင်းသော 13,500°C သို့ရောက်ရှိသည့် နေ၏မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် များပြားစွာထုတ်ပေးပါသည်။ ဤအပူချိန်မြင့်သောပလာစမာသည် စက်မှုထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်အများစုအတွက် မသင့်လျော်ပါ။

အခြားတစ်ဖက်တွင်၊ အပူချိန်နိမ့်ပလာစမာသည် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကို အရှိန်မြှင့်ရန် အပူထက် စွမ်းအင်ကို အသုံးပြုသည့် ပလာစမာ၏ အတုဖန်တီးမှုပုံစံတစ်ခုဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ အပူချိန်သည် ပုံမှန်အားဖြင့် အခန်းအပူချိန်မှ ရာဂဏန်း ဒီဂရီစင်တီဂရိတ်အထိ ကွာဝေးပြီး အမျိုးမျိုးသော အသုံးချမှုများအတွက် အလွန်ထိရောက်မှု ရှိစေပါသည်။

Artificial Plasma ထုတ်လုပ်ရန် အဆင့်များ-

1. Chamber အတွင်းရှိ ဖိအားကို လျှော့ချပါ- လေဟာနယ်ပန့်ကို အသုံးပြု၍ အပေါက်အတွင်း ဖိအားကို လျှော့ချရန် စတင်ပါ။ ပလာစမာကို တည်ငြိမ်စေပြီး ဓာတ်ငွေ့ အိုင်ယွန်ရှင်းထုတ်မှုကို လွယ်ကူချောမွေ့စေရန်အတွက် ဖိအားနိမ့်ဖိအားကို ရရှိရန် အရေးကြီးပါသည်။

2. Process Gas ကိုမိတ်ဆက်ပေးပါ- တိကျသောလုပ်ငန်းစဉ်ဓာတ်ငွေ့များကို အပေါက်ထဲသို့ ထိုးသွင်းပါ။ ဤဓာတ်ငွေ့များသည် ပလာစမာရှိ အမှုန်အမွှားများ၏ မူလရင်းမြစ်အဖြစ် လုပ်ဆောင်သည်။

3. ပလာစမာကို လှုံ့ဆော်ပေးသည်- ပလာစမာကို ထိရောက်စွာဖွဲ့စည်းကာ ဓာတ်ငွေ့ကို အိုင်ယွန်ဖြစ်စေရန် ပါဝါကို အသုံးပြုပါ။

4. ပလာစမာကို ပိတ်ပြီး လေထုဖိအားကို ပြန်လည်ရယူပါ- အလိုရှိသော တုံ့ပြန်မှုများ ပြီးသည်နှင့်၊ ပလာစမာကို ပိတ်ပြီး အခန်းကို လေထုဖိအားသို့ ပြန်ပေးသည်။

Semiconductor ထုတ်လုပ်မှုတွင် Low-Temperature Plasma ၏ အသုံးပြုပုံများ

အပူချိန်နိမ့်ပလာစမာသည် ခြောက်သွေ့သော etching၊ ရုပ်ပိုင်းဆိုင်ရာ အခိုးအငွေ့ထွက်ခြင်း (PVD)၊ ဓာတုအငွေ့ထုတ်ခြင်း (CVD)၊ atomic layer deposition (ALD)၊ ion implantation၊ ashing နှင့် endpoint detection တွင် အရေးကြီးသောလုပ်ငန်းဆောင်တာများကို လုပ်ဆောင်ပေးပါသည်။ ၎င်း၏ စွယ်စုံရနှင့် ထိရောက်မှုတို့က ၎င်းကို စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် အခြေခံကိရိယာတစ်ခု ဖြစ်စေသည်။

Semicorex ကမ်းလှမ်းချက်များPlasma etching အတွက် အရည်အသွေးမြင့် ဖြေရှင်းချက်. သင့်တွင် စုံစမ်းမေးမြန်းမှုများ သို့မဟုတ် နောက်ထပ်အသေးစိတ်အချက်အလက်များ လိုအပ်ပါက၊ ကျွန်ုပ်တို့ထံ ဆက်သွယ်ရန် တုံ့ဆိုင်းမနေပါနှင့်။

ဖုန်း # +86-13567891907 သို့ ဆက်သွယ်နိုင်ပါသည်။

အီးမေးလ်- sales@semicorex.com